MKS 微波电源 ASTeX AX3060-10 智能微波匹配器是一种先进的微波匹配单元，它利用相位幅度检测硬件和先进的预测调谐算法来提供快速、可靠和可重复的匹...

MKS 远程等离子体源 Paragon F* 8SLM RPS 是用于清洁应用的智能远程等离子体源，为了清洁CVD和ALD/ALE腔室，Paragon远程等离子...

MKS 远程等离子体源 Paragon 8SML RPS是用于清洁应用的智能远程等离子体源，为了清洁CVD和ALD/ALE腔室，Paragon远程等离子体源有高...

MKS（ENI）高性能射频电源，ENI 射频电源 GHW-70 13.56MHz 7000W 提供经过现场验证的可靠性、优秀的稳定性和良好的可重复性，以实现高正...

MKS（ENI）高性能射频电源，射频电源 ENI GHW-50A 13.56MHz 5000W 提供经过现场验证的可靠性、优秀的稳定性和良好的可重复性，以实现高...

ENI GHW-50 高性能射频电源 13.56MHz 5KW 提供经过现场验证的可靠性、优秀的稳定性和良好的可重复性，以实现高正常运行时间和工艺良率。

MKS 射频电源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W 高性能射频电源提供经过现场验证的可靠性、优秀的稳定性和良好的可重复性，以实现高正常运行时...

MKS 射频电源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W 高性能射频发生器可以提供经过现场验证的可靠性、优秀的稳定性和良好的可重复性，以实现高正常...

MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 通过无声放电将纯氧转化为臭氧，实现高输出和高浓度水平。

MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是主要设计用于全集成臭氧输送子系统，该系统是一个*集成的臭氧发生器，具有内部臭氧监...

MKS RGA 残余气体分析仪 MicroVision Plus 利用优秀的射频电子设计和数据采集电子技术，提供了大多数应用程序所需的性能水平。

MKS RGA 残余气体分析仪 HPQ2 允许操作高达0.001托，而不需要差速泵送，由此产生的系统更简单，安装要求更低，以更低的成本提供更高的可靠性。

MKS 直流电源 DCG-100A OPTIMA 10KW 是久经机台测验的具有高可靠性和优良性能的直流电源。

MKS 直流电源 DCG-200Z OPTIMA 10KW DC Power Supply 是久经机台测验的具有高可靠性和优良性能的直流电源。

MKS（ENI）射频电源 ACG-5 13.56MHz 500W 提供一套紧凑、轻量级的射频产品，具有各种用户界面和功能，包括自动频率调谐、快速瞬态恢复和脉冲。

MKS(ENI) 射频电源 ACG-6B 13.56MHz 600W 提供一套紧凑、轻量级的射频产品，具有各种用户界面和功能，包括自动频率调谐、快速瞬态恢复和脉...

射频电源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW 是一款紧凑、轻量级的射频产品，具有各种用户界面和功能，包括自动频率调谐、快速瞬态恢复和...

MKS 高频射频电源 GEW-3540 40.68MHz 3000W 射频发生器 是一款坚固耐用的射频电源，用于等离子蚀刻，CVD和溅射应用，具体精确的电源控制...

MKS 远程等离子体源 ASTRON hf-s 15L RPS 是沉积和蚀刻室清洁工艺的关键子组件，消除了工艺副产物从室壁积聚，增加工艺工具的寿命，并减少薄膜污...

MKS 远程等离子体源 ASTRON HF 15L RPS 是沉积和蚀刻室清洁工艺的关键子组件，消除了工艺副产物从室壁积聚，增加工艺工具的寿命，并减少薄膜污染的...