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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>ENI GHW Series>> MKS（ENI）GHW-70ENI 射频电源 GHW-70 13.56MHz 7000W
| 供货周期 | 现货 | 货号 | GHW7013MA-F1L200-T1 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型号 | GHW-70 | P/N | GHW7013MA-F1L200-T1 |
| 频率 | 13.56MHz | 输出功率 | 7000W |
| 设备状态 | Refurblished |
ENI 射频电源 GHW-70 13.56MHz 7000W 是MKS具有高可靠性的射频等离子发生器，GHW 系列射频发电机在 13.56 MHz 的频率下提供不同额定输出功率的设备选择。该系列设备非常适用于集成电路、平板显示器和数据存储设备制造过程中的等离子增强化学气相沉积 (PECVD)、高密度等离子 CVD (HDPCVD)、蚀刻和其他薄膜应用。
ENI 射频电源 GHW-70 13.56MHz 7000W RF Generator
规格
类型：GHW 系列 13.56 MHz 射频等离子发生器
频率：13.56MHz ±0.005%
输出功率：7000 W
负载阻抗范围：无限
射频稳定性/杂散输出：无条件稳定运行限制内的任何负载 < -45dBc
谐波输出和失真：< -40dBc
射频连接器：N型
界面：标准：RS-232 Subminiature Type-D 9 针数字；可选的自定义接口卡可用。
读出：数字读数显示频率和正向、反射和负载功率。
水冷系统：水流10L/min，水温5℃~35℃，水压2.4-4.2KG/CM2, 34-60 psi
机架安装：提供 EIA（标准）19 英寸适配器
重量：30公斤（65磅）
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