供货周期 |
现货 |
货号 |
GHW50A-13DF3H0-003 |
应用领域 |
化工,电子,电气,综合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
型号 |
GHW-50A |
P/N |
GHW50A-13DF3H0-003 |
频率 |
13.56MHz |
输出功率 |
5000W |
设备状态 |
Refurblished |
MKS(ENI)高性能射频电源,射频电源 ENI GHW-50A 13.56MHz 5000W 提供经过现场验证的可靠性、优秀的稳定性和良好的可重复性,以实现高正常运行时间和工艺良率。
MKS(ENI) 射频电源 ENI GHW-50A 13.56MHz 5000W 是具有高可靠性的射频等离子发生器GHW 系列射频发电机在 13.56 MHz 的频率下提供不同额定输出功率的设备选择。该系列设备非常适用于集成电路、平板显示器和数据存储设备制造过程中的等离子增强化学气相沉积 (PECVD)、高密度等离子 CVD (HDPCVD)、蚀刻和其他薄膜应用。
MKS(ENI) 射频电源 ENI GHW-50A 13.56MHz 5000W
规格
类型:GHW 系列 13.56 MHz 射频等离子发生器
频率:13.56MHz ±0.005%
输出功率:GHW-50A:5000 W
负载阻抗范围:无限
射频稳定性/杂散输出:无条件稳定运行限制内的任何负载 < -45dBc
谐波输出和失真:< -40dBc
负载失配保护:在反向功率达到预编程水平=额定功率的20%后,自动正向功率限制通常为0.25ms
监管容忍度:GHW-50A>500W:±1.5%SP;<500W:±10.0W
输入交流电源:GHW-50A:200/208VAC,3/PE~(3W+G)30A/相,380/400VAC,3/PE~(3W+G)15A/相
射频连接器:N型
界面:标准:RS-232 Subminiature Type-D 9 针数字;可选的自定义接口卡可用。
读出:数字读数显示频率和正向、反射和负载功率。
机架安装:提供 EIA(标准)19 英寸适配器
冷却系统:GHW-50A 水流为7.6L/min,水温5℃~35℃。提供接受3/8英寸外(NPT)管道螺纹连接。
尺寸:GHW-50A :8.72× 19x 22.1英寸(221 × 483 × 560毫米),不包括手柄和连接器
重量:GHW-50A:41.3 公斤(91磅)