当前位置:江苏神州半导体科技有限公司>>其他产品>>RGA>> MKS MicroVision PlusMKS RGA 残余气体分析仪 MicroVision Plus
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 |
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型号 | MicroVision?Plus | M/N | CU:LM76?ANALYSER:MKS522 |
设备状态 | Refurblished |
MKS RGA 残余气体分析仪 MicroVision Plus 具有高稳定性的操作和快速,宽的动态范围扫描允许过程偏差和气体成分的变化被立刻凸显出来。MicroVision Plus 提供优秀的电子技术,以及可用于生产的残余气体分析仪器。
MicroVision Plus 具有“智能头"技术——电子元件直接安装在分析头上,并通过RS232C或RS422接口直接连接到系统PC。为满足特定的应用要求,可提供开放离子源和特高压源。开放式离子源分析仪由不锈钢和高纯氧化铝陶瓷制成,具有独立可更换的双灯丝,为更长的操作提供内置备份,没有真空中断。
MKS RGA 残余气体分析仪 MicroVision Plus 特点
1.高稳定性射频和数据采集电子,快速预热
2.快速,宽动态范围扫描-快速突出工艺偏差
3.预过滤分析仪作为提高抗污染能力和提高质量灵敏度的标准
4.灵活的I/O能力,与生产工具和其他传感器的交互
规格
质量范围:1~100,1~200和1~300amu 标准1~6,和1~100高性能选项
MAX运行压力:7.6 * 10-5Torr
最小可探测压强:通道板扫描电镜:3.8 * 10-14 Torr;单通道扫描电镜:7.6 * 10-15Torr
质量稳定性:在环境温度稳定的条件下,8小时内优于±0.1amu
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