当前位置:江苏神州半导体科技有限公司>>其他产品>>RGA>> MKS HPQ2MKS RGA 残余气体分析仪 HPQ2
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 |
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型号 | HPQ2 | M/N | CU:LM75?ANALYSER:LM506 |
设备状态 | Refurblished |
MKS RGA 残余气体分析仪 HPQ2 采用了经过现场验证的HPQ分析仪技术,传统的残留气体分析(RGA)工作总压力上限为1e- 4mbar,限制了许多工艺应用。但HPQ2 RGA允许操作高达0.001 Torr,且不需要差速泵送。经过现场验证的HPQ分析仪技术,加上来自Microvision 2系列的创新电子平台,提供了这类仪器以前从未见过的数据质量。由此产生的系统更简单,安装要求更低,以更低的成本提供更高的可靠性。
MKS RGA 残余气体分析仪 HPQ2 能够使用灵活的工业标准通信协议,快速、准确地获取来自RGA传感器的数据。HPQ2还提供完整的附加数字和模拟连接,以灵活的低成本解决方案集成到系统中。此外还具有一下特点:
1.总压力0.001Torr 的工作上限
2.用于真空管路、冷却管路、焊缝和密封件的泄漏检测
3.用于腔室污染物监测,包括碳氢化合物
4.验证工艺气体的质量
MKS RGA HPQ2 技术参数
质量范围:1~100aumu
探测器:Faraday探测器
分析器工作压力(MAX):0.001Torr(0.0013mbar)
可检分压强(MIN):8e-11Torr(1e-10mbar)
可检测浓度(MIN):5ppm在0.001Torr环境下
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