当前位置:江苏神州半导体科技有限公司>>其他产品>>OZONE Generator>> MKS ASTeX AX8560臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 |
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型号 | ASTeX?AX8560 | M/N | AX8560 |
设备状态 | Refurblished |
MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是专为低流量,高臭氧浓度的如ALD等应用设计的。AX8560结合MKS的高浓度、超清洁臭氧产生技术,集成臭氧浓度监测,流量控制,以及所有独立操作所需的仪表和调节器。该子系统结构紧凑,重量轻,可以独立,机架安装或集成到AX8555多通道臭氧输送系统。
优秀的MKS臭氧发生器电池技术通过无声放电将纯氧转化为臭氧,达到可用的高臭氧浓度水平。AX8407 只需要掺入微量的氮气,远远低于其他臭氧发生器所需的氮气水平,因此最终产生的如氮氧化物之类的污染物的含量是很低的。
MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 规格
类型:臭氧气体发生器
臭氧输出:26~180g/hr
流速:0.5~5slm
原料气:6级或是更好的氧气;20~100ppm 5级或更好的氮气
额定腔室压力:10~45psig(0.7~3.1bar)
压力:20~30psig
水冷温度:17~23℃
水冷过滤:100微米
水冷水质:电阻率≥50KΩ/cm
水冷流量:0.95~6.65L/min
AC输入:208VAC(±10%),3 phase,5~12A MAX,50/60Hz
设备重量:40kg(88LB)
尺寸规格:482 * 429 * 267 mm
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