珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司
珀金埃尔默半导体行业氯硅烷分析应用文集
检测样品：氯硅烷
检测项目：杂质 组分 含量
方案概述：高纯He中微量H2、O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2杂质的测定;高纯H2中微量O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2杂质的测定;高纯Ar中微量H2、N2、CH4 、CO、 CO2杂质的测定;高纯N2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2杂质的测定;高纯HCl中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2杂质的测定......
目 录
高纯He中微量H2、O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2杂质的测定
高纯H2中微量O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2杂质的测定
高纯Ar中微量H2、N2、CH4 、CO、 CO2杂质的测定
高纯N2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2杂质的测定
高纯HCl中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2杂质的测定
高纯Cl2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2杂质的测定
工业用硅烷气体中微量二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅杂质的测定
氯硅烷工艺中回收氢和还原尾气中氯硅烷组分的测定
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