Microtrac应用：SYNC激光粒度仪在半导体行业中的应用

检测样品：抛光浆料

检测项目：粒径分布

方案概述：在半导体制造过程中，抛光浆料的粒度分布直接影响晶圆表面的平整度。麦奇克（Microtrac）激光粒度仪SYNC能够精确测量抛光浆料中磨料的粒径分布，确保其符合工艺的要求。通过监测浆料的D10、D50、D90等关键参数，可以有效控制抛光质量，减少表面缺陷。

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更新时间2025年12月26日

上传企业大昌洋行（上海）有限公司（大昌华嘉科学仪器部）

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方案详细说明相关产品清单

麦奇克（Microtrac）激光粒度仪SYNC在半导体行业中发挥着至关重要的角色，其应用贯穿于从半导体制造到显示技术、电子封装以及新兴电子材料研发的各个环节。

在半导体制造过程中，抛光浆料的粒度分布直接影响晶圆表面的平整度。麦奇克（Microtrac）激光粒度仪SYNC能够精确测量抛光浆料中磨料的粒径分布，确保其符合工艺的要求。通过监测浆料的D10、D50、D90等关键参数，可以有效控制抛光质量，减少表面缺陷。

化学机械抛光（CMP）是半导体制造中的关键工艺。麦奇克（Microtrac）激光粒度仪SYNC可监测CMP抛光浆料中颗粒的粒度变化，为工艺优化提供数据支持。例如，通过调整浆料中磨料的粒径分布，可以优化抛光速率和表面质量，提高产品良率。

麦奇克（Microtrac）的激光粒度仪SYNC采用静态激光衍射法测量颗粒的大小及分布。采用专利的三激光设计（2个405nm波长的固体激光器和1个780nm波长的固体激光器），得到非常宽的测试范围0.01-4000µm，覆盖了从纳米到毫米不同量级的颗粒测量。配备全自动湿法进样系统FLOWSYNC，可以实现全自动操测量和清洗，无需手动清洗。

本文采用麦奇克（Microtrac）的激光粒度仪SYNC来测量抛光液的粒径及其分布。