岛津企业管理（中国）有限公司
类金刚石(DLC)膜及其表面缺陷的岛津电子探针分析
检测样品：类金刚石(diamond-likecarbon，DLC）膜
检测项目：缺陷分析
方案概述：使用岛津电子探针显微分析仪EPMA-1720对某类DLC(diamond-likecarbon，类金刚石）膜的表面缺陷进行了观察、元素测试及元素面分布特征分析。确认了缺陷中元素的种类和含量、元素在缺陷位置的分布特点，讨论了表面上尺寸大小不等的微观点状缺陷可能会带来的工程材料失效问题。
类金刚石( diamond-like carbon，DLC）膜是一种非晶碳膜，最早在1971年由离子沉积技术得到。它是一种由sp3键的金刚石和sp2键组成的碳膜，具有与金刚石相似的优良的力学性能，因此被命名为类金刚石膜。DLC膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性能良好、抗腐蚀性能良好、热膨胀系数小等优异的物理化学性能，具有广阔应用的前景，在机械设备、海洋工程、汽车零部件、电子和光学元件、生物医用设备等多个领域中都有广泛应用。
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