供货周期 |
现货 |
货号 |
FP3319R1 |
应用领域 |
化工,电子,电气,综合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
型号 |
CX-2500S |
P/N |
FP3319R1 |
频率 |
13.56MHz |
输出功率 |
2500W |
设备状态 |
Refurblished |
COMDEL 射频电源 CX2500S 13.56MHz 2500W RF GENERATOR 射频发生器是一款具有高可靠性高频射频电源,应用范围包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD,以及工业系统中的感应和介质加热过程。
COMDEL 射频电源 CX2500S 13.56MHz 2500W RF GENERATOR 是经过长期验证的、可靠的高性能、高频率的射频发生器。COMDEL CX Series 射频电源的输出功率范围在600W~2500W,射频输出频率为2MHz~30MHz,频率调谐能力高达10带宽。该系列设备的固态设计具有高可靠性,拥有成本低。COMDEL CX Series的设计是为了满足RF驱动等离子体系统在半导体加工中的性能需求,应用包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD,以及工业系统中的感应和介质加热过程,以及太阳能光伏应用。
COMDEL 高频射频电源 CX Series 特点
1.高频射频电源,频率为2MHz~30MHz
2.久经测试的可靠的真空等离子设备
3.较高的射频调谐能力
COMDEL 射频电源 CX2500S 13.56MHz 2500W RF GENERATOR 规格
1.AC输入:208VAC,3 phase,50-60Hz
2.射频输出:2500W,13.56MHz
3.水冷进水需求:MAX 水温 35℃,MIN 水流 10 GPM/min
4.通讯接口:J1 REMOTE I/O ; J2 RS-232c