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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>COMDEL>> CX-600SCOMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W
| 供货周期 | 现货 | 货号 | FP3135R1 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型号 | CX-600S | P/N | FP3135R1 |
| 频率 | 13.56MHz | 输出功率 | 600W |
| 设备状态 | Refurblished |
COMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W RF GENERATOR 是经过长期验证的、可靠的高性能、高频率的射频发生器。COMDEL CX Series 射频电源的输出功率范围在600W~2500W，射频输出频率为2MHz~30MHz，频率调谐能力高达10带宽。该系列设备的固态设计具有高可靠性，拥有成本低。COMDEL CX Series的设计是为了满足RF驱动等离子体系统在半导体加工中的性能需求，应用包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD，以及工业系统中的感应和介质加热过程，以及太阳能光伏应用。
COMDEL 高频射频电源 CX Series 特点
1.高频射频电源，频率为2MHz~30MHz
2.久经测试的可靠的真空等离子设备
3.较高的射频调谐能力
COMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W 规格
1.AC输入：230V
2.射频输出：600W，175 VRMS，50 OHM
3.水冷进水需求：MAX 水温 25℃，MAX 水流 1.9L/min，MAX 水压 60 psi(240kPa)
4.通讯接口：J1 REMOTE I/O ; J2 RS-232c
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