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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>COMDEL>> CLF-5000COMDEL 低频射频电源 CLF5000 450KHz 5000W
| 供货周期 | 现货 | 货号 | FP1541RC |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型号 | CLF-5000 | M/N | FP1541RC |
| P/N | 27-049867-00 | 频率 | 450KHz |
| 输出功率 | 5000W | 设备状态 | Refurblished |
COMDEL 低频射频电源 CLF5000 450KHz 5000W RF GENERATOR 射频发生器是一款稳定、可靠的低频射频电源。CLF Series 是为满足半导体加工用 RF驱动等离子体系统的性能要求而设计的。应用范围包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD，以及工业系统中的感应和介质加热过程。
CLF Series 射频电源运作过程中可提供高达5KW的稳定的输出功率。半机架支撑工作时在 20KHz~50KHz 的任何固定频率。全机架支撑工作时，可以在 20KHz~450KHz 的任何固定频率，或自动调谐到±15带宽。在许多应用中，自动调节和多余功率净空的结合将使电力输送到不断变化的无功负载，而不需要机械调节匹配网络。
COMDEL 低频射频电源 CLF Series 特点
1.CLF Series 为低频射频电源
2.设备稳定、可靠、低功率
3.用于工业加热和等离子体
COMDEL 低频射频电源 CLF5000 450KHz 5000W 规格
AC输入：3，PE，208 VAC，50/60Hz，25A
射频输出：400 KHz，700 Vpk，50 Ohm
水冷进水需求：Min 水流 11L/min，Max 水压414 kPa（60 psi），Max 水温25℃
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