供货周期 |
现货 |
货号 |
FP7113RB |
应用领域 |
化工,电子,电气,综合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
型号 |
CB250 |
M/N |
FP7113RB |
P/N |
0190-34174 |
频率 |
13.56MHz |
输出功率 |
250W |
设备状态 |
Refurblished |
COMDEL 高频射频电源 CB250 13.56MHz 250W 应用包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD,以及工业系统中的感应和介质加热过程,以及太阳能光伏应用。
COMDEL 高频射频电源 CB250 13.56MHz 250W RF GENERATOR 是一款具有优良可靠性的高频射频发生器,CB Series 是为满足半导体加工用 RF 驱动等离子体系统的性能要求而设计的。应用包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD,以及工业系统中的感应和介质加热过程,以及太阳能光伏应用。
CB Series 的射频发生器功率范围为 50W~5000W,标准固定频率为 13.56 MHz~60 MHz。该系列设备的固态设计提供了精确和可重复的功率控制,超稳定的输出和低拥有成本,产品设计都基于长期累积和经过验证的射频放大器技术。
COMDEL 高频射频电源 CB Series 特点
1.CB Series 是高频射频电源
2.具有优秀的设计和可靠性
3.设备封装紧凑且轻量化
4.功率范围,50W~5000W
5.频率范围,13.56MHz~60MHz
COMDEL 高频射频电源 CB250 13.56MHz 250W 射频发生器 规格
AC输入:208V ~ ±10%,5A,50/60 Hz
射频输出:250W,13.56MHz
水冷进水需求:水流 2L/min,水压414 kPa(60 psi),水温25℃ Max