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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>COMDEL>> CLX-2500COMDEL 低频射频电源 CLX2500 350KHz 2500W
| 供货周期 | 现货 | 货号 | FP1336R4 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型号 | CLX-2500 | M/N | FP1336R4 |
| P/N | 0190-13837 | 频率 | 350KHz |
| 输出功率 | 2500W | 设备状态 | Refurblished |
COMDEL 低频射频电源 CLX2500 350KHz 2500W 射频发生器是一款优秀、可靠的低频射频电源，CLX系列的设计是为了满足RF驱动等离子体系统在半导体加工中的性能需求，应用范围包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD，以及工业系统中的感应和介质加热过程。
CLX系列低频射频电源的功率范围从600W到10KW，固定频率从20KHz到2MHz，频率调谐能力高达10带宽。该系列设备的固态设计具有高可靠性，拥有成本低。
COMDEL 低频射频电源 CLX SERIES 特点
1.低频射频电源，频率为20KHz~2MHz
2.稳定、可靠、低功率，功率范围为600W~10KW
3.真空系统
4.较高频率调谐能力，高达10
COMDEL 低频射频电源 CLX2500 350KHz 2500W 规格
AC输入：480V~，3phase，50/60Hz，7.5A
输出频率：350KHz，24VDC 输出电流
射频输出：2500W，354 VRMS，50 OHM
水冷进水需求：Min 水流 6L/min，Max 水压414 kPa（60 psi），Max 水温25℃
通讯接口：Analog I/O
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