AT810 经济性原子层沉积设备是小占地面积台式系统。采用半导体级金属密封管路以及兼容高温的快速脉冲原子层沉积（ALD）阀。用于集成惰性气体吹扫的超快速质量流量...

AT610 经济性原子层沉积设备是小占地面积台式系统。采用半导体级金属密封管路以及兼容高温的快速脉冲原子层沉积（ALD）阀。用于集成惰性气体吹扫的超快速质量流量...

ANRIC推出了目前市场上占地面积最小的原子层沉积（ALD）设备。AT200M 经济型原子层沉积设备型号体积小巧，足以放入手套箱内，因此成为对湿气或空气敏感的沉...

AT410 经济型原子层沉积设备具备诸多优势：为占地小的桌面系统，尺寸明确；有新增功能可用的空心阴极射频源（AT - 410 Plus 配 300W 等离子）

AT650/850P 台式等离子原子层沉积设备，其以热系统，配备新高级空心阴极源与 60 MHz RF，有低氧污染等特点；占地小，可容纳 6 英寸及更小样品，可...

AT 臭氧发生器采用高品质元器件，能以极小的体型提供高浓度（最高 12%）臭氧。该系统无需昂贵且笨重的水冷装置，内置的高速风扇即使在长时间或持续使用时，也能保持...

AT650/850T 台式热原子层沉积设备，具备现场升级为等离子体模式的能力，占地面积小（38.1 厘米，宽 15 英寸），可容纳直径为 6 英寸或更小的样品。