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KLA Zeta™-388光学轮廓仪提供3D量测和成像功能,与集成防震台和晶圆操作系统结合,可实现全自动测量。该系统采用ZDot™ 技术...
KLA Zeta™-300光学轮廓仪可提供3D 量测和成像功能,与集成式防震台和灵活的配置相结合,可以处理更大的样品。该系统采用ZDot&trade...
全新的KLA Zeta™-Solar光学轮廓仪专为满足优良金属化工艺中对于细栅线、接触垫和主栅线的测量需求而设计。更为优良的3D 成像技术,以及最大...
KLA Zeta™-20光学轮廓仪是一个高度集成的光学轮廓显微镜,可在紧凑、耐用的包装下提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™ 技...
KLA Filmetrics® Profilm3D® 光学轮廓仪和 Profilm3D-200 光学轮廓仪经济实惠,是一套非接触式基于白光干...
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