分析解决方案- 高纯气体中微量CO、CH4、CO2的气相色谱仪法测定

检测样品：高纯气体

检测项目：一氧化碳CO 甲烷CH4 二氧化碳CO2

方案概述：在高纯气体分析中，微量CO、CH4、CO2的分析占有重要的地位，本方法利用TDX-01色谱柱完成分离，甲烷转化器将CO/CO2转化为CH4，在氢火焰FID检测器上响应，可得到优于0.05ppm的检出限浓度指标。

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更新时间2026年04月14日

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分析解决方案-高纯气体中微量CO、CH4、CO2的气相色谱仪法测定

方法概述：

在高纯气体分析中，微量CO、CH4、CO2的分析占有重要的地位，本方法利用TDX-01色谱柱完成分离，甲烷转化器将CO/CO2转化为CH4，在氢火焰FID检测器上响应，可得到优于0.05ppm的检出限浓度指标

实验仪器及标准物：

气相色谱仪G51（FID检测器），六通阀+模块化甲烷转化器。

数据处理工作站3091

标准气体4L：CO(1PPM)；CO2 (1PPM)；CH4（1PPM）

N2 纯度>99.999%

空气：无油空气发生器（XGA-380A）

氢气：高纯氢气发生器（XGH-300）

分析条件：

色谱柱：TDX-01(1M*1/8in)

温度条件：柱箱100℃；检测器180℃；转化炉360℃

载气：N2

柱流量：30ml/min;柱前压：0.06MPa

空气400ml/min；氢气：40ml/min

测试谱图：（高纯氢气中1个ppm的CO、CH4、CO2组分）

图片1.png

检测指标：（峰高单位mv，峰面积单位mv·S）

名称	CO/1ppm			CH4/1ppm			CO2/1ppm
项目	时间	峰高	峰面积	时间	峰高	峰面积	时间	峰高	峰面积
进样1	0.7083	0.3907	1.5843	1.5334	0.1719	1.6534	3.1917	0.0993	1.9879
进样2	0.715	0.3917	1.5872	1.5425	0.1721	1.6484	3.2125	0.0964	1.9226
进样3	0.7092	0.3914	1.5927	1.5384	0.1694	1.6037	3.2025	0.0962	1.9469
进样4	0.7142	0.3880	1.5779	1.5450	0.1724	1.6360	3.2266	0.0971	1.9352
进样5	0.7183	0.3886	1.5839	1.5492	0.1690	1.5898	3.2258	0.0957	1.8731
进样6	0.7158	0.3851	1.5641	1.5492	0.1684	1.6356	3.2266	0.0982	1.9954
进样7	0.7167	0.3840	1.5634	1.5517	0.1678	1.5966	3.2191	0.0963	1.9335
SD	0.0038	0.0030	0.0114	0.0066	0.0019	0.0260	0.0136	0.0013	0.0413
RSD	0.5289	0.7833	0.7191	0.4263	1.1356	1.6040	0.4227	1.3248	2.1256

结论：

在此分析条件下基线噪音小于2uv，且重现性，稳定性良好，CO、CH4、CO2三个组分的检出限浓度均可优于0.05ppm；使用配置宽量程FID检测器的G51Pro系列气相色谱仪，检出限浓度可轻松达到0.02ppm，相较于那些昂贵的检测器PDHID氦离子放电检测器、EPD等离子放电检测器、DID氩离子放电检测器等，使用普通型通用检测器FID对高纯气体中微量组分CO、CH4、CO2的分析，不仅投入资金少，而且维护简单，运行效率高，是高纯气体分析解决方案的又一重要突破。

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