| 尺寸 | customized客制化 | 吸附方式 | 真空吸附/悬空夹持 |
|---|---|---|---|
| x-y轴调节行程 | customized客制化 |
| 探针台型号 | HTMP | |
| 外形尺寸 | Customized 客制化 | |
| 整体重量 | Customized 客制化 | |
| 样品台 | 吸附方式 | 真空吸附/悬空夹持 |
| X-Y轴调节行程 | Customized 客制化 | |
| X-Y轴调节方式 | 线性无回差 1μm精调 气浮快速定位 | |
| Z轴升降调节行程 | 0-10mm,精度1μm | |
| θ 水平方向旋转角度粗调 | 0-360° | |
| θ 水平方向旋转角度微调 | ±5°,精度0.1° | |
| a垂直方向摆动角度微调 | ±20°,精度0.1° | |
| 显微镜 | X-Y-Z轴调节行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 |
| Z轴气动升降行程 | 50mm,升降速度可调 | |
| 倾仰角度调节 | 0-30°,自动锁止 | |
| 光学倍率 | 180X/500X/1000X | |
| 光学分辨率 | 5μm/2μm/1μm | |
| 工 业 相机像素 | 1920x1080P | |
| 针座台面 | 外形 | U型 |
| 材质 | 抛光不锈钢&防腐氧化 | |
| 平整度 | ±3μm | |
| 容积 | 至 多放置8个探针座 | |
| 快速升降行程 | 5mm | |
| 微调升降行程 | 25mm，精度1um | |
| 探针座点测定位精度 | 1.4μm/0.7μm/0.35μm | |
| 探针座支持测量类型 | 低频/高频/大功率/光波 | |
| 测量范围 | 低频测量电流精度 | 10pa 100fa 10fa |
| 高频测量电流精度 | DC-1100GHZ | |
| 大功率测量范围 | 10KV/1500A | |
| 光波测量范围 | 紫外/可见光/红外 | |
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