尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 | 材质 | 抛光不锈钢/镀金 |
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吸附方式 | 真空吸附 |
探针台型号 | HTM-600L | HTM-800L HTM-1200L | |
外形尺寸 | 宽580mm | 宽760mm 宽930mm | |
深520mm | 深670mm 深900mm | ||
高800mm | 高800mm | ||
整体重量 | 约100Kg | 约120Kg 约170Kg | |
尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | |
材质 | 抛光不锈钢/镀金 | 抛光不锈钢/镀金 抛光不锈钢/镀金 | |
平整度 | ±3μm | ±3μm ±3μm | |
吸附方式 | 真空吸附 | 真空吸附 | |
电学特性 | 浮地悬空 背 电极信号加载&测量 | 浮地悬空 背电极信号加载&测量 8英寸x8英寸 线性无回差1μm精调 气浮快速定位 0-10mm,精度1μm 0-360° ±5°,精度0.1° ±20°,精度0.1° 50mmx50mmx50mm 精度1微米 50mm,升降速度可调 0-30°,自动锁止 500X/1000X/2000X 2μm/ 1μm/ 0.5μm NUV / Visible/ NIR 1920x1080P | |
X-Y轴调节行程 | 6英寸x6英寸 | ||
X-Y轴调节方式 | 线性无回差1μm精调 气浮快速定位 | ||
Z轴升降调节行程 | 0-10mm,精度1μm | ||
θ 水平方向旋转角度粗调 | 0-360° | ||
θ 水平方向旋转角度微调 | ±5°, 精度0.1° | ||
a垂直方向摆动角度微调 | ±20°,精度0.1° | ||
X-Y-Z轴调节行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 | ||
Z轴气动升降行程 | 50mm,升降速度可调 | ||
倾仰角度调节 | 0-30°,自动锁止 | ||
光学倍率 | 500X/1000X/2000X | ||
光学分辨率 | 2μm/1μm/0.5μm | ||
光学镜头类型 | NUV/ Visible/NIR | ||
工业相机像素 | 1920x 1080P |