| 应用领域 | 环保,化工,生物产业,制药/生物制药,综合 | 方形样品台尺寸 | 25mmX25mm |
|---|---|---|---|
| 温控范围 | -193℃~+400℃ | 真空腔体尺寸 | 长400mmX宽400mmX高100mm |
真空高低温探针台
A．配置清单：真空腔体x1、三维探针座x4、三同轴探针夹具x4、探针x10、高低温样品台x1、温度控制器x1、液氮控制器x1、温控软件x1、液氮杜瓦瓶x1
B．具体配置参数：
1）方形样品台尺寸25mmX25mm，样品台表面防滑，背栅电极测试接口
2）方形氧化铝陶瓷绝缘片25mmX25mm
3）真空腔体长400mmX宽400mmX高100mm，真空腔盖子配4个快拧接头
4）方形石英视窗尺寸φ30mm
5）真空度10-3 mbar
6）PID 精密算法 程控液氮泵温控器，温控范围：-193℃~+400℃，温度稳定度±0.5℃
7）样品固定方式：弹片压持
8）内置真空探针座4 个，点测定位精度1.4μm，探针XYZ微调移动行程12mmX12mmX12mm，三同轴探针夹具电缆，漏电精度<100fA
9）高纯度固体钨针10 根
10）定制液氮管路，液氮杜瓦瓶20L
11）抽真空阀门和接口，充放气接口，预留接口
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