型号 | 6英寸/8英寸 | 材质 | 抛光不锈钢/镀金 |
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吸附方式 | 真空吸附 | X-Y轴调节方式 | 线性无回差1μm精调 气浮快速定位 |
Z轴升降调节行程 | 0-10mm,精度1μm |
探针台型号 | HTM-600 | |
外形尺寸 | 宽580mm | |
深520mm | ||
高800mm | ||
整体重量 | 约80Kg | |
样品台 | 尺寸 | 中6英寸 |
材质 | 抛光不锈钢/镀金 | |
平整度 | ±3μm | |
吸附方式 | 真空吸附 | |
电学特性 | 浮地悬空 背电极信号加载&测量 | |
X -Y轴调节行程 | 6英寸x6英寸 | |
X-Y轴调节方式 | 线性无回差1μm精调 气浮快速定位 | |
Z轴升降调节行程 | 0-10mm,精度1μm | |
θ 水平方向旋转角度粗调 | 0-360° | |
θ 水平方向旋转角度微调 | ±5°,精度0.1° | |
a垂直方向摆动角度微调 | ±20°,精度0.1° | |
显微镜 | X-Y-Z轴调节行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 |
Z轴气动升降行程 | 50mm,升降速度可调 | |
倾仰角度调节 | 0-30°,自动锁止 | |
光学倍率 | 180X/500X/1000X | |
光学分辨率 | 5μm/2μm/1μm | |
工业相机像素 | 1920x 1080P | |
针座 台面 | 外型 | U型 |
材质 | 抛光不锈钢&防腐氧化 | |
平整度 | ±3μm | |
容 积 | 至多放置8个探针座 | |
快速升降行程 | 5mm | |
微调升降行程 | 25mm,精度1μm | |
探针座 点测定位精度 | 1.4μm/0.7μm/0.35μm | |
探针座支持测量类型 | 低频/高频/大功率/光波 | |
探针卡 安装尺 寸 | 4.5英寸 | |
测量 范围 | 低频测 量电流精 度 | 10pA(Coaxial) 100fA(Triaxial) 10fA(Kelvin) |
高频测量 频率范 围 | DC-1100GHz | |
大功率测量范围 | 10KV/1500A | |
光波测量范围 | 紫外/可见光/红外 |