| 靶材材质 | 黄金、铂金、纯银、镍、铜等 | 靶材尺寸 | φ125X0.3mm |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
| 溅射气体 | 空气 | 控制方式 | 自动 |
| 样品仓尺寸 | φ170X120mm | 样品台尺寸 | 100mm |
| 应用领域 | 综合 |
电子在电场的作用下，飞向基片过程中与气体原子发生碰撞，使其电离产生出气体正离子和新的电子；新电子飞向基片，离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子借助于靶表面上形成的正交电磁场，被束缚在靶表面特定区域，增强电离效率，增加离子密度和能量，从而实现高速率溅射。
主要应用：
适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜、铂金、银、镍、铜等），仪器操作简单方便，是配合各类型扫描电子显微镜制样的仪器。是制备低维度，小尺寸纳米材料器件的实验手段，广泛应用于集成电路，光子晶体，低维半导体、微生物、超微膜材料等领域。
配套世界主流扫描电子显微镜厂家：
热电（美国原荷兰）FEI钨丝阴极、场发射、飞纳台式等各类型电子显微镜，蔡司（德国）钨丝阴极、场发射各系列的扫描电子显微镜，JEOL（日本电子）各类电镜，日立（日本）各系列电镜、台式电镜，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列电镜，还有如韩国“赛科”、COXEM库赛姆、MIRERO等电镜品牌及所有需要样品前期处理，提高成像质量、增强导电性能等表面镀膜处理的样品制备工作。
低温磁控型
1.显示操作面为30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；
2.真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；
3.微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；
4.真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；
5.控制电路为控制板，工作稳定可靠；
6.显示控制操作部分布局合理，使用方便；
7.结构简单可靠，布局合理，维修操作空间大；
8.自动真空的进排气，关机自动放弃（标准版手动放气）
9.优化机型外观，整洁大方，体积灵巧；
10.数字方式定时，0-9999秒区间自主调节；
11.采用冷阴极磁控溅射靶头；
12.升降式上翻盖结构，更换样品方便快捷；
13.采用定制“凹”密封，更加方便操作；
14.增大样品处理室空间，φ150X110高硬度耐高温石英晶体；
15.定制型真空泵排气过滤器；
16.独立式升降样品台组件（标准为2支柱紧固型）；
u 石英处理室：
Φ170mm,高度120mm;
u 溅射类型：
冷阴极磁控型二级溅射；
u 样台尺寸：150mm,样品台插孔多个可选；
可升降和手动旋转
u 样品更换：升降式上翻盖结构，上盖打开可独立支撑
u 靶材尺寸：Φ50（可选配定制高效率靶材）;
u 真空系统：真空泵2L/S；（选配无油涡旋干泵）
u 真空检测：定制皮氏计，配合真空指针表，灵敏可靠；
u 真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空；
u 真空泄压：自动进排气（无需手动放气阀）；
u 电路保护：过载保护；
u 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口；
服务承诺
1. 质保期限：
到货之日起，为期一年。
2. 安装调试：
（1.）提供视频安装资料，电话和微信远程指导安装和调试。
（2.）上门安装调试（需协商）
3. 可提供的服务方式：
4. 热线应答：
由专业工程师通过沟通、帮助、指导、解决、排除故障
现场服务：由工程师在最短的时间内到达，以的方式排除故障。（需协商）
人性化服务：尊重以人为本的服务理念，提供超过客户期望值的服务。
远程服务：在最终客户的前提下，通过互联网远程指导技术人员在客户现场处理。
定期巡检服务：不定期由公司和工程师带队，对客户进行巡检，广泛征求意见以求客户满意。
5. 包装及运输方式：
1.包装：满足QB／BWD008-2001之要求的运输包装箱
2.输方式：公路货运物流
实拍照片
TESCAN电子显微镜和ISC离子溅射仪
JEOL电子显微镜和ISC系列离子溅射仪
赛默飞台式场发射（FEI）
应用客户列表
序号 | 用 户 | 数量 | 设备型号 |
1 | 华南理工大学材料学院 | 1 | TZZN-200 |
2 | 电子五所 | 3 | TZZN-200 |
3 | 山西国惠公司 | 1 | TZZN-200 |
4 | 中山大学测试中心 | 1 | TZZN-200 |
5 | 金发科技 | 1 | TZZN-200 |
6 | 桂林电子科技大学 | 1 | TZZN-200 |
7 | 广西特种设备监督检验院 | 1 | TZZN-200 |
8 | 江苏科技大学材料学院 | 1 | TZZN-200 |
9 | 深圳市药品检验所 | 1 | TZZN-200 |
10 | 仲恺农业工程学院 | 1 | TZZN-200 |
11 | 顺德职业技术学院 | 1 | TZZN-200 |
12 | 广州纤维产品检测研究院 | 1 | TZZN-200 |
13 | 广东工业大学材料与能源学院 | 1 | TZZN-200 |
14 | 广西植物所 | 1 | TZZN-200 |
15 | 广西壮族自治区环境监测中心站 | 1 | TZZN-200 |
16 | 佛山市质量计量监督检测中心 | 1 | TZZN-200 |
17 | 广东省新材料研究所 | 1 | TZZN-200 |
18 | 华南农业大学 | 1 | TZZN-200 |
19 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 2 | TZZN-200 |
20 | 华南理工大学造纸学院 | 1 | TZZN-200 |
21 | 华南理工大学测试中心 | 1 | TZZN-200 |
22 | 中南大学 | 1 | TZZN-200 |
23 | 南昌大学 | 1 | TZZN-1000 |
24 | 钢铁研究总院 | 1 | TZZN-200 |
25 | 深圳方正公司 | 1 | TZZN-200 |
26 | 西南物理研究院 | 1 | TZZN-200 |
27 | 江苏产品质量监督检查 | 1 | TZZN-1000 |
28 | 珠海海莱特电子科技公司 | 1 | TZZN-1000 |
29 | 深圳豪鹏公司 | 1 | TZZN-1000 |
30 | 哈尔滨工业大学 | 1 | TZZN-1000 |
31 | 东北石油大学 | 1 | TZZN-1000 |
32 | 新疆克拉玛依油田 | 1 | TZZN-1000 |
33 | 吉林大学 | 1 | TZZN-1000 |
34 | 金正大公司 | 1 | TZZN-1000 |
35 | 齐鲁石化公司 | 1 | TZZN-1000C |
36 | 青岛华世洁公司 | 1 | TZZN-1000C |
37 | 烟台万润公司 | 1 | TZZN-1000C |
38 | 河南师大 | 1 | TZZN-1000C |
39 | 贵州大学 | 1 | TZZN-1000C |
40 | 广州大学 | 1 | TZZN-1000C |
41 | 奥瑞金 | 1 | TZZN-1000C |
42 | 江西电科院 | 1 | TZZN-1000C |
43 | 中北大学 | 1 | TZZN-1000C |
44 | 中航锂电 | 1 | TZZN-1000C |
45 | 中科院城市环境研究所 | 1 | TZZN-200 |
46 | 南京航天航空大学 | 1 | TZZN-200 |
47 | 威特真空 | 1 | TZZN-200 |
48 | 东北大学秦皇岛分校 | 1 | TZZN-200 |
49 | 美的集团研发部 | 1 | TZZN-200 |
50 | 桂林理工大学 | 1 | TZZN-200 |
51 | 中南大学 | 1 | TZ-1000CK |
52 | 云南师范大学 | 1 | TZ-1000CK |
53 | 中海油南海西部研究所 | 1 | TZ-1000CK |
54 | 一汽技术中心 | 1 | TZ-1000CK |
55 | 江西理工大学 | 1 | TZ-1000CK |
56 | 北京大学 | 1 | 108AUTO |
57 | 昆明矿产 | 1 | 108AUTO |
58 | 河南岩石 | 1 | 108AUTO |
59 | 常州工学院 | 1 | TZ-1000CK |
60 | 江苏中天 | 1 | 108manual |
61 | 中科院地理所 | 1 | 108auto |
62 | 捷鸿电子科技 | 1 | TZZN-200 |
63 | 德州学院 | 1 | 108auto |
64 | 上海外高桥 | 1 | 108auto |
65 | 上海通用东岳动力 | 1 | TZZN-200 |
66 | 内蒙古科技大学 | 1 | 108C auto |
67 | 江苏协鑫硅材料 | 1 | TZZN-200 |
68 | 广东工业大学 | 1 | TZZN-200 |
69 | 辽宁科技大学 | 1 | TZZN-200 |
70 | 华北电力 | 1 | TZZN-200 |
71 | 深圳市药检所 | 1 | 108auto |
72 | 中原工学院 | 1 | 108manual |
73 | 广东省疾控中心 | 1 | 108c auto |
74 | 绵阳华立精工 | 1 | 108manual |
75 | 上海市轴承技术研究所 | 1 | 108auto |
76 | 美的集团真空部 | 1 | TZ-1000C |
77 | 内蒙古科技大学 | 1 | TZ-1000C |
78 | 山西煤矸石 | 1 | 108auto |
79 | 成都奥图 | 1 | 108auto |
80 | 兰州油气中心 | 1 | 108Cauto |
81 | 上海汽车商务车 | 1 | 108auto |
82 | 江西技术师范学院 | 1 | 108manual |
83 | 长春理工大学 | 1 | 108manual |
84 | 哈工大 | 1 | TZ-1000CK |
85 | 钢铁研究总院 | 1 | TZ-1000CK |
86 | 四川科源 | 1 | TZ-1000CK |
87 | 扬州质检所 | 1 | TZ-1000CK |
88 | 中国平煤神马能源化工 | 1 | TZ-1000CK |
89 | 南通市通州区家纺产业 | 1 | TZ-1000CK |
90 | 辽宁科技学院 | 1 | TZ-1000CK |
91 | 天津东皋膜技术有限公司 | 1 | 108auto |
92 | 黑龙江大学 | 1 | 108auto |
93 | 佛山市 | 1 | 108+108C |
94 | 广东省博物馆 | 1 | 108auto |
95 | 宝鸡吉利 | 1 | TZZN-200 |
96 | 歌尔声学股份有限公司 | 1 | TZZN-200 |
97 | 燕山大学 | 1 | TZZN-200 |
98 | 交通科学研究院 | 1 | 108auto |
99 | 华南师范大学测试中心 | 1 | 108C |
100 | 广州有色金属研究院 | 1 | 108auto |
101 | 山东师范大学 | 1 | 108manual |
102 | 成都海威 | 1 | 108auto |
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