| 靶材材质 | 金、铂、镍、铜、银等 | 靶材尺寸 | φ57/50mm |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
| 溅射气体 | 空气/氩气 | 控制方式 | 自动 |
| 样品仓尺寸 | φ120/170X110mm | 样品台尺寸 | 70mm |
| 应用领域 | 医疗卫生,环保,生物产业,地矿,电子/电池 |
主要技术参数： |
低温磁控型
1.显示操作面为30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；
2.真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；
3.微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；
4.真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；
5.控制电路为控制板，工作稳定可靠；
6.显示控制操作部分布局合理，使用方便；
7.结构简单可靠，布局合理，维修操作空间大；
8.自动真空的进排气，关机自动放弃（标准版手动放气）
9.优化机型外观，整洁大方，体积灵巧；
10.数字方式定时，0-9999秒区间自主调节；
11.采用冷阴极磁控溅射靶头；
12.升降式上翻盖结构，更换样品方便快捷；
13.采用定制“凹”密封，更加方便操作；
14.增大样品处理室空间，φ150X110高硬度耐高温石英晶体；
15.定制型真空泵排气过滤器；
16.独立式升降样品台组件（标准为2支柱紧固型）；
石英处理室：Φ150mm,高度110mm;
溅射类型： 冷阴极磁控型二级溅射；
样台尺寸：150mm,样品台插孔61个可选；
样品更换：升降式上翻盖结构，上盖打开可独立支撑
靶材尺寸：Φ50（可选配定制高效率靶材）;
真空系统：*型德国进口无油涡旋真空泵2L/S；
真空检测：定制皮氏计，配合真空指针表，灵敏可靠；
真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空；
真空泄压：自动进排气（无需手动放气阀）；
电路保护：过载保护；
工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口；
拥有暂停计时和溅射功能；
溅射电流不小于30mA，溅射电流不大于5mA，步进量1mA；
溅射真空度可任意设定，调节精度±0.1Pa；
溅射时间不小于600秒，步进量为1s；
具备电流保护或真空保护功能，在电流过大、真空度较差时保证设备安全；极限真空优于1Pa；
实时显示溅射电流和真空度。
离子溅射仪性能指标及各系统组成 |
项目 | 说明 |
产品名称 | 自动低温磁控离子溅射仪 |
型号 | TZ-1000DCK |
容积、重量和尺寸 | |
舱室尺寸 | φ150X110 （mm） |
外形尺寸 | 主机：约450X330X235mm;包装尺寸：560X450X345 真空泵: 约480X135X200；包装尺寸：580X215X367mm |
重量 | 43㎏ |
噪音 | 65db以内（离机台正面1米并离地面1.2米处测量） |
功率 | 约500W |
电流 | 约10A |
供电条件和电源 | AC220V +保护接地 电压允许波动范围：10% 频率允许波动范围：（50±0.5）ＨZ TN-S方式供电或TT方式供电 保护地线接地电阻小于4Ω |
性能指标保证 | |
功能保障 | 1.（空气）室内空间洁净干燥； 2.可选配纯净氩气气源 3.按流程操作 |
理论膜厚计算 | 涂层的厚度 一般来说，用于扫描样品时金属的厚度为100—300 Å，经验的厚度测定可由下面的公式得到： d=KIVt 其中d是以“埃”为单位的镀膜厚度。 K是常数，取决于溅射金属和所充气体，此时靶与样品之间的距离大约是5cm。 I是等离子流的单位mA。 V是以“KV“为单位所施电压（1.68KV）。 t是以秒为单位的时间。 采用金靶和氩气时K为0.17，如用空气K为 0.07。因此对于典型的溅射。 例如：I为8mA，t为100秒则，d=KIVt=0.17´8´100=136 Å 即每秒1.36 Å 溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度，因此保护工作室的清洁十分重要。 |
颗粒度参数照片(冷阴极磁控型) | |||
10mA,20S | 10mA,40S | 10mA,60S | |
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真空泵 | |||
真空泵 |
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飞跃8立方米/秒 | |||
零配件 | |||
石英钟罩 |
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真空管件 |
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溅射靶头 | 冷阴极磁控靶头 | ||
溅射靶材 |
金靶和铂靶（默认铂金） | ||
高压连接线 | |||
过滤器 | 排气口过滤器，减少对环境的污染。 | ||
耗材 | |||
真空泵油、靶材等 | |||
服务承诺
质保期限：
安装调试：
可提供的服务方式：
热线应答：
包装及运输方式：
包装：满足QB／BWD008-2001之要求的运输包装箱
输方式：公路货运物流
序号 | 用 户 | 数量 | 设备型号 |
1 | 华南理工大学材料学院 | 1 | ISC-20 |
2 | 电子五所 | 3 | ISC-20 |
3 | 山西国惠公司 | 1 | ISC-20 |
4 | 中山大学测试中心 | 1 | ISC-20 |
5 | 金发科技 | 1 | ISC-20 |
6 | 桂林电子科技大学 | 1 | ISC-20 |
7 | 广西特种设备监督检验院 | 1 | ISC-20 |
8 | 江苏科技大学材料学院 | 1 | ISC-20 |
9 | 深圳市药品检验所 | 1 | ISC-20 |
10 | 仲恺农业工程学院 | 1 | ISC-20 |
11 | 顺德职业技术学院 | 1 | ISC-20 |
12 | 广州纤维产品检测研究院 | 1 | ISC-20 |
13 | 广东工业大学材料与能源学院 | 1 | ISC-20 |
14 | 广西植物所 | 1 | ISC-20 |
15 | 广西壮族自治区环境监测中心站 | 1 | ISC-20 |
16 | 佛山市质量计量监督检测中心 | 1 | ISC-20 |
17 | 广东省新材料研究所 | 1 | ISC-20 |
18 | 华南农业大学 | 1 | ISC-20 |
19 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 2 | ISC-20 |
20 | 华南理工大学造纸学院 | 1 | ISC-20 |
21 | 华南理工大学测试中心 | 1 | ISC-20 |
22 | 中南大学 | 1 | ISC-20 |
23 | 南昌大学 | 1 | ISC-1000 |
24 | 钢铁研究总院 | 1 | ISC-20 |
25 | 深圳方正公司 | 1 | ISC-20 |
26 | 西南物理研究院 | 1 | ISC-20 |
27 | 江苏产品质量监督检查 | 1 | ISC-1000 |
28 | 珠海海莱特电子科技公司 | 1 | ISC-1000 |
29 | 深圳豪鹏公司 | 1 | ISC-1000 |
30 | 哈尔滨工业大学 | 1 | ISC-1000 |
31 | 东北石油大学 | 1 | ISC-1000 |
32 | 新疆克拉玛依油田 | 1 | ISC-1000 |
33 | 吉林大学 | 1 | ISC-1000 |
34 | 金正大公司 | 1 | ISC-1000 |
35 | 齐鲁石化公司 | 1 | ISC-1000C |
36 | 青岛华世洁公司 | 1 | ISC-1000C |
37 | 烟台万润公司 | 1 | ISC-1000C |
38 | 河南师大 | 1 | ISC-1000C |
39 | 贵州大学 | 1 | ISC-1000C |
40 | 广州大学 | 1 | ISC-1000C |
41 | 奥瑞金 | 1 | ISC-1000C |
42 | 江西电科院 | 1 | ISC-1000C |
43 | 中北大学 | 1 | ISC-1000C |
44 | 中航锂电 | 1 | ISC-1000C |
45 | 中科院城市环境研究所 | 1 | ISC-20 |
46 | 南京航天航空大学 | 1 | ISC-20 |
47 | 威特真空 | 1 | ISC-20 |
48 | 东北大学秦皇岛分校 | 1 | ISC-20 |
49 | 美的集团研发部 | 1 | ISC-20 |
50 | 桂林理工大学 | 1 | ISC-20 |
51 | 中南大学 | 1 | TZ-1000CK |
52 | 云南师范大学 | 1 | TZ-1000CK |
53 | 中海油南海西部研究所 | 1 | TZ-1000CK |
54 | 一汽技术中心 | 1 | TZ-1000CK |
55 | 江西理工大学 | 1 | TZ-1000CK |
56 | 北京大学 | 1 | 108AUTO |
57 | 昆明矿产 | 1 | 108AUTO |
58 | 河南岩石 | 1 | 108AUTO |
59 | 常州工学院 | 1 | TZ-1000CK |
60 | 江苏中天 | 1 | 108manual |
61 | 中科院地理所 | 1 | 108auto |
62 | 捷鸿电子科技 | 1 | ISC-20 |
63 | 德州学院 | 1 | 108auto |
64 | 上海外高桥 | 1 | 108auto |
65 | 上海通用东岳动力 | 1 | ISC-20 |
66 | 内蒙古科技大学 | 1 | 108C auto |
67 | 江苏协鑫硅材料 | 1 | ISC-20 |
68 | 广东工业大学 | 1 | ISC-20 |
69 | 辽宁科技大学 | 1 | ISC-20 |
70 | 华北电力 | 1 | ISC-20 |
71 | 深圳市药检所 | 1 | 108auto |
72 | 中原工学院 | 1 | 108manual |
73 | 广东省疾控中心 | 1 | 108c auto |
74 | 绵阳华立精工 | 1 | 108manual |
75 | 上海市轴承技术研究所 | 1 | 108auto |
76 | 美的集团真空部 | 1 | TZ-1000C |
77 | 内蒙古科技大学 | 1 | TZ-1000C |
78 | 山西煤矸石 | 1 | 108auto |
79 | 成都奥图 | 1 | 108auto |
80 | 兰州油气中心 | 1 | 108Cauto |
81 | 上海汽车商务车 | 1 | 108auto |
82 | 江西技术师范学院 | 1 | 108manual |
83 | 长春理工大学 | 1 | 108manual |
84 | 哈工大 | 1 | TZ-1000CK |
85 | 钢铁研究总院 | 1 | TZ-1000CK |
86 | 四川科源 | 1 | TZ-1000CK |
87 | 扬州质检所 | 1 | TZ-1000CK |
88 | 中国平煤神马能源化工 | 1 | TZ-1000CK |
89 | 南通市通州区家纺产业 | 1 | TZ-1000CK |
90 | 辽宁科技学院 | 1 | TZ-1000CK |
91 | 天津东皋膜技术有限公司 | 1 | 108auto |
92 | 黑龙江大学 | 1 | 108auto |
93 | 1 | 108+108C | |
94 | 广东省博物馆 | 1 | 108auto |
95 | 宝鸡吉利 | 1 | ISC-20 |
96 | 歌尔声学股份有限公司 | 1 | ISC-20 |
97 | 燕山大学 | 1 | ISC-20 |
98 | 交通科学研究院 | 1 | 108auto |
99 | 华南师范大学测试中心 | 1 | 108C |
100 | 广州有色金属研究院 | 1 | 108auto |
101 | 山东师范大学 | 1 | 108manual |
102 | 成都海威 | 1 | 108auto |
103 | 中国地质* | 1 | 108C |
104 | 浙江海利得 | 1 | 108manual |
105 | 国家康复辅具研究中心 | 1 | ISC-1000C |
106 | 株洲电力机车 | 1 | ISC-1000C |
107 | 北京林业大学 | 1 | ISC-1000C |
108 | 浙江浙能 | 1 | ISC-1000C |
109 | 华东师大 | 1 | ISC-1000C |
110 | 华中科技大学 | 1 | 108auto |
111 | 中山大学生科院 | 1 | 108C |
112 | 内蒙古地质调查院 | 1 | 108C |
113 | 兖矿水煤浆气化及煤化工 | 1 | 108+108C |
114 | 安徽铜铅锌及制品质量监督检验 | 1 | 108+108C |
115 | 西安高通微波科技有限公司 | 1 | 108+108C |
116 | 东莞理工学院 | 1 | 108A |
117 | 中海石油（中国）有限公司北京研究中心 | 1 | 108A+108C |
118 | 百色学院 | 1 | ISC-20 |
119 | 广西华纳新材料科技有限公司 | 1 | ISC-20 |
120 | 华为（华为技术、华为终端、华为南方工厂、华为海思） | 4 | ISC-20 |
121 | 高意通讯（深圳）有限公司 | 1 | ISC-20 |
122 | 东莞市局 | 2 | 108+108C |
123 | 广州市局 | 2 | 108+108C |
124 | 厦门大学 | 1 | 108A+MTM-20 |
125 | *福建物质结构研究所 | 1 | ISC-20 |
125 | 集美大学 | 1 | ISC-20 |
126 | 珠海冠宇(原光宇)电池有限公司、光宇重庆基地 | 2 | ISC-20 |
127 | 防城港* | 1 | ISC-20 |
128 | 佛山道氏科技有限公司 | 2 | 108+108C |
129 | 吉林大学 | 1 | 108C |
130 | 上海凯密特尔化学品有限公司 | 1 | TZ-1000CK |
131 | 国家康复辅具研究中心 | 1 | TZ-1000CK |
132 | 通标标准技术服务有限公司广州分公司SGS | 1 | TZ-1000CK |
133 | 深圳市研一新材料有限责任公司 | 1 | TZ-1000CK |
134 | 广州机械科学研究院有限公司 | 1 | TZ-1000CK |
135 | 东风本田发动机有限公司 | 1 | 108A |
136 | 广东风华*股份有限公司 | 1 | 108A |
…… | …… | …… | …… |
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