全自动离子溅射仪操作过程中需要注意什么？

来源：北京格微仪器有限公司 2025年05月16日 15:06

全自动离子溅射仪是一种用于制备薄膜材料的高精度设备，广泛应用于材料科学、电子工程和表面工程等领域。为确保设备正常运行、实验结果准确，并保障操作人员安全，使用过程中需注意以下事项：

真空系统操作：

在抽真空-前，确保所有阀门处于关闭状态。

抽真空过程中，密切观察真空度的变化，确保真空度达到实验要求。

避免让机械真空泵长期保持极限真空状态，以防反油。

电源和气路操作：

确保电源线连接正确且无损伤，接地良好。

调节气体压力至实验所需值，并保持稳定。

禁止随意拆卸、改装设备的电气部分或气路系统。

溅射参数设置：

根据实验要求，合理设置溅射电流、溅射时间、加速电压等参数。

避免单次溅射时间过长，一般不超过120秒。如需溅射厚膜，可多次溅射。

注意工作距离和离子流大小的关系，避免热损伤样品。

样品放置和取出：

放置样品时，确保样品在样品台上固定牢固，防止溅射过程中移动。

取出样品时，待真空室放气至大气压后再打开真空室盖子。

安全操作：

严禁将手或其他物品放入设备内部，以免发生意外伤害。

操作过程中避免操作手套被夹损或卷入设备内部。

禁止在设备周围摆放易燃、易爆物品。

操作后维护

设备清洁：

实验结束后，及时清理真空室、溅射头等部件，保持设备清洁。

定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室内部，注意不要打破玻璃真空圈。

设备保养：

定期对设备进行维护检查，包括清洁、润滑、更换磨损部件等。

真空泵油应定期更换，一般更换周期为12个月。

油雾过滤器等易损件也应定期更换。

记录和数据保存：

记录实验过程中的各项参数和操作情况，以便后续分析和总结。

保存实验数据，以便后续参考和对比。

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