全自动离子溅射仪具有简单易用的交互设计

来源：北京格微仪器有限公司 2025年05月16日 15:39

　　全自动离子溅射仪简单易用的交互设计：

　　1. 模块化操作界面

　　分步提示：

　　屏幕显示当前步骤（如“正在抽真空”“开始溅射”），并实时更新进度条。

　　异常状态自动弹窗报警（如真空度不足、靶材耗尽），并提供解决方案提示。

　　参数互锁保护：

　　限制参数输入范围（如电流不超过靶材最大承受值），避免误操作导致设备损坏。

　　2. 免维护设计

　　靶材更换便捷：

　　采用卡扣式或磁吸式靶材座，无需工具即可更换靶材。

　　靶材尺寸标准化，兼容常用规格。

　　清洁维护简化：

　　溅射腔室采用耐腐蚀材料，定期用清水或酒精擦拭即可。

　　可选配自动清洁模式。

　　3. 安全与合规性

　　多重防护机制：

　　门禁保护：舱门未关闭时无法启动溅射，防止紫外线暴露。

　　过流保护：电流超过设定值时自动切断电源，保护靶材和样品。

　　符合标准：

　　通过CE认证，电气安全性和EMC电磁兼容性符合国际要求。

　　全自动离子溅射仪使用注意事项：

　　1.靶材与样品距离：

　　根据溅射速率需求调整靶材与样品台的距离，距离越近镀膜速率越高。

　　2.气体选择：

　　惰性气体用于金属溅射，反应性气体可用于氧化物镀膜。

　　3.冷却系统：

　　长时间连续工作时需检查散热系统，避免靶材过热变形。

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