MKS Revolution RPS AX7690 远程等离子源是一款能为半导体芯片加工提供所需的高性能和清洁的活性气体源的集成式远程等离子体源。

AE Fixed Match 半导体RF匹配器是配套AE RFG系列射频电源RFG2000-2V设计研发的固定匹配器。

MKS ASTRON2L RPS 半导体远程等离子源是在半导体产线沉积和蚀刻室清洁工艺中的发挥关键作用的子组件，可以消除工艺副产物从室壁积聚，增加工艺工具的寿命...

AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有性能稳定具有高可靠性的射频电源。

MKS 直流电源 DCG-200Z OPTIMA 10KW DC Power Supply 是久经机台测验的具有高可靠性和优良性能的直流电源。

AE Pinnacle Plus 直流电源 10KW DC Power Supply 是久经工艺验证的优秀的脉冲直流电源，可通过反应溅射制备极其均匀的高质量电介...

AE PARAMOUNT 1513 射频电源 Paramount 1513 13.56MHz 1500W RF Generator关注设备操作的灵活性和应用平台...

AE 射频电源 APEX 5513 13.56MHz 5500W 射频发生器灵活通用，AE Apex Series射频发生器和电源系统采用紧凑的模块化设计，适用...

AE 直流电源 MDX-L18M 18KW DC电源，可用作电源、电流或电压源，可由所选的输出模式进行调节。AE(Advanced Energy) MDX-L系...

AE 直流电源 MDX-L12M-650 12KW DC电源，可用作电源、电流或电压源，可由所选的输出模式进行调节。AE(Advanced Energy) MD...

AE 直流磁控电源 Pinnacle 20K DC电源，经过现场测试其优良的工艺稳定性和控制能力，可有效的减少差异和提高良品率。紧凑的外形集合了多种功能，包括优...