AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW 返回列表页

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产品型号AE RFG 2000-2V

品牌Advanced Energy/优仪

厂商性质经销商

所在地扬州市

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更新时间：2023-11-23 09:51:56浏览次数：976次

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产品简介

供货周期	现货	货号	3155053-007
应用领域	电子/电池,电气,综合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	AE	型号	RFG?2000-2V
M/N	3155053-007	P/N	0920-00102
频率	12.56MHz	输出功率	3000W
设备状态	Refurblished

AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有性能稳定具有高可靠性的射频电源。

详情介绍

AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性和优良性能的射频电源，在实际运行中展现出了优秀的工艺稳定性和控制能力。该款射频电源主要采用了紧凑的外观设计，整体小巧便捷，占用空间小，能够降低客户的使用成本。AE RFG系列射频电源具有良好的成膜能力，能够快速成膜，被广泛的应用在半导体制程的薄膜工艺中，CVD、PVD、PECVD、溅射、蚀刻均有应用。RFG 2000-2V，加上它相关的固定匹配网络(MFA)，是一种传统的AE 13.56 MHz射频发生器，具有定制的腔室安装和紧密的机械包络。

AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：RFG 2000-2V

AC 电源输入：3 phase~ ，208V~，50/60Hz，20A

RF 射频输出：3000W，13.56MHz

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：MAX进水水压6.9 Bars/69kPa