AE RFG 3001-AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW_AE RFG Series-江苏神州半导体科技有限公司

AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW 返回列表页

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产品型号AE RFG 3001

品牌Advanced Energy/优仪

厂商性质经销商

所在地扬州市

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更新时间：2024-06-02 15:35:54浏览次数：1286次

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供货周期	现货	货号	3155089-005
应用领域	电子/电池,电气,综合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	AE	型号	RFG?3001
M/N	3155089-005	P/N	1914590
频率	13.56MHz	输出功率	3KW
设备状态	Refurbished

供货周期

现货

货号

3155089-005

应用领域

电子/电池,电气,综合

主要用途

RF GENERATOR

品牌

型号

RFG?3001

M/N

3155089-005

P/N

1914590

频率

13.56MHz

输出功率

3KW

设备状态

Refurbished

AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源，能够实现对射频输出的精准控制，在半导体溅射、蚀刻、CVD、PECVD等制程工艺中具有优良表现。AE RFG 系列射频电源具有优秀的工艺稳定性和射频控制能力，能够实现对射频输出的精准控制。RFG 系列射频电源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半导体制程薄膜工艺中具有广泛应用，能够在一定程度上的提高产线效率和产品良率。该型射频电源整体采用了紧凑设计，小巧便捷，能够降低客户的使用成本。

AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：RFG 3001

AC 电源输入：3 phase~ ，~208V/PE，50/60Hz

RF 射频输出：13.56MHz，3000W，387V~

通讯接口：Control，CEX

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：MAX 进水压力 6.9Bar/690kPa