射频电源 APEX 5513 13.56MHz 5500W 返回列表页

AE 射频电源 APEX 5513 13.56MHz 5500W 射频发生器功率密度高，能够实现紧凑型安装。在空间有限但性能至关重要的情况下，简化版APEX Series 射频发生器能为客户提供值得信赖的各种安装选项和功率。

AE APEX Series 射频发生器可以适配腔室、机架或框架等安装选项，在提供方便的同时还可以降低功率损耗。全系列RF Generator 有优秀的电弧管理能力，在13.56Mhz频率下，可选择1.5KW~10KW不同输出功率的设备。

技术参数

Power Level : 1.5, 3, and 5.5 kW

Frequencies : 13 MHz

Available Interfaces : RS-232, 25-pin analog, Ethernet, DeviceNet

AC Input : 208 VAC

Line Frequency : 50/60 Hz

Cooling : Water

Ambient Air Temperature Range : +5 to +40°C

Cooling Water Temperature Range : +5 to +35°C

Advanced Features : Pulsing, CEX

AE 射频电源 APEX 5513 13.56MHz 5500W 射频发生器

优点：

1. 灵活性提高，可直接集成工艺机台

2. 等离子操作稳定化

3. 提高快速电弧管理的良品率

4. 易于根据客户的工艺要求进行定制和配置

特点：

1. 流线型设计，实现大功率密度

2. 可选腔室安装、工具框架安装、机架安装和鞋盒式安装

3. 宽带控制回路

4. 可选脉冲控制

5. 高速电弧管理