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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>AE Paramount Series>> AE Paramount MF 15002AE 射频电源 Paramount MF 15002 15KW
| 供货周期 | 现货 | 货号 | 31550302-064 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型号 | Paramount?MF?15002 |
| M/N | 31550302-064 | P/M | 660-144976-004-H |
| 频率 | 1.8-2.17MHz | 输出功率 | 15KW |
| 设备状态 | Refurbished |
AE 射频电源 Paramount MF 15002 15KW 1.8-2.17MHz RF Generator 是经过现场长期验证的具有稳定输出能力和控制能力的高性能射频电源，在实际运行过程中展现出了优良的工艺稳定性。AE Paramount 系列射频电源具有优秀的成膜能力，广泛应用在半导体薄膜工艺中，该型射频电源成膜速度快，效率高，能够在一定程度上提高产线效率和产品良率。MF 15002射频电源能够实现对射频输出的精准控制，在半导体制程溅射、CVD、PECVD、蚀刻工艺中存在较多应用和良好表现。
AE 射频电源 Paramount MF 15002 15KW 参数规格
设备品牌：AE（Advanced Energy）
设备型号：Paramount MF 15002
AC 电源输入：3 phase~ +PE，200~208V，50/60Hz，70A
RF 射频输出：15KW，1.8~2.17MHz，＜1000Vrms
通讯接口：Sync In/Out，CEX In/Out，Match，User，Serial，ENET
设备散热：水冷散热
水冷进水需求：MAX 进水压力 6.9Bar/690kPa
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