AE 射频电源 Paramount MF5002 2MHz 5000W 返回列表页

AE 射频电源 Paramount MF5002 2MHz 5000W RF Generator 是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源，Paramount MF系列射频功率发生器集频率调谐、脉冲和全数字控制于一身。设备采用的全数字控制可动态响应等离子体变化，频率和功率可定制范围分别从400kHz ~ 60MHz和1.5KW ~ 10KW，能够实现控制的优化和同步。

Paramount 平台采用数字架构，可实现精密的电源管理和优化新功能的集成，无需研制周期或硬件更改。该平台通过实时检测等离子体的变化，实现大功率输出和可重复性能。内部保护限值还可确保操作稳定可靠。关注操作灵活性，推动您的工艺开发。Paramount® 射频发生器可提供宽频率和功率范围，支持多种集成场景，并配备标准串行或模拟接口。

优点：

提高等离子体稳定性和工艺可重复性

精密控制射频功率

快速响应等离子体变化

易于调整满足特定应用需求

特点：

全数字控制

频率调谐、脉冲和脉冲同步

实时功率和阻抗测量

电弧管理

相位同步（CEX）

AE 射频电源 Paramount MF5002 2MHz 5000W 技术参数：

AC输入：200 ~ 208V，3 phase ~，23A（Max.），50 ~ 60Hz

RF输出：5000W，1.8 ~ 2.17MHz，775Vrms

散热：水冷+风冷

工作环境温度：+5℃ ~ +40℃

通信接口：RS-232、用户端口、以太网、DeviceNet、Profibus、EtherCAT