AE 射频电源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 返回列表页

AE Paramount Plus Series 射频电源采用了面向新兴等离子应用的多级脉冲和脉冲波形控制，为客户提供了可靠的脉冲控制等优秀技术和可定制功能。

AE Paramount Plus Series 射频电源拥有精确的射频和脉冲控制，能够快速响应等离子体变化，设备内置诊断工具。

AE 射频电源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 可实现精密的射频调节、复杂的脉冲操作和先进的数据采集。Paramount Plus Series 设计覆盖广泛的射频能量范围——从400KHz~60MHz，输出功率从1.5KW~15KW，可以提供客户需要的可重复性和可靠性。

技术参数

功率等级：3 or 6 KW

频率：27MHz、40MHz、60MHz，频率调谐±5%

可用接口：RS-232、25针模拟、以太网、DeviceNet、Profibus、EtherCAT

AC Input：200/240VAC，400/480VAC

工频：50/60Hz

散热：风冷和水冷

工作环境温度范围：+5°C ~ +40°C，+41°F ~ +104°F

高级功能：多级脉冲，电弧管理，CEX

AE 射频电源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 优点:

1. 精密控制射频

2. 提高等离子提稳定性

3. 加速等离子体转换

4. 缩短工艺时间

5. 提高工艺可重复性和腔室匹配度

特点:

1. 通过精密调节功率输出提升射频稳定性

2. 先进的多级脉冲

3. 脉冲同步和监测

4. 实时功率和阻抗测量

5. 先进的FastDAQ数据采集系统