Rapid OE RPS 远程等离子体源 返回列表页

AE Rapid OE RPS 远程等离子体源采用可由用户插入安装和拆卸的石英腔体内衬，是氧气类工艺的理想选择。

Rapid OE 适合用于光刻胶灰化/碳质真空腔清理，石英内衬减少了氧复合，确保反应物质到工艺腔的有效输送。Rapid OE功率为6KW，通过变频和功率控制解离氧气，实现优秀性能。设备整体采用腔体和可拆卸插入设计，相较于采用全石英腔体的产品相比，Rapid OE具有更好的可靠性。

由于 Rapid OE 采用可拆卸石英内衬，可减少复合效应，延长氧自由基的寿命。与阳极氧化真空腔相比，所产生的活性反应物质寿命更长，从而提高光刻胶拨出速率。此外，由于操作员可以轻松地安装或拆卸石英内衬，停机时间得以缩短，更换成本也显著降低。

AE Rapid OE RPS 远程等离子体源

优点

1. 采用可拆卸、可更换的石英腔体，停机时间和拥有成本均大幅缩减

2. 高解离速率且产生高密度自由基，提高了过程性能

3. 通过变频调谐和精密功率控制，确保了工艺的可重复性和可控性

4. 高度可靠的腔室设计和冷却系统增加了腔室寿命，且降低了使用成本

5. 提高工具利用率，减少预防性维护，降低拥有成本

特点

1. 石英内衬理想适用于光刻胶灰化或碳质真空腔清理工艺

2. 变频匹配提高可使用的等离子阻抗范围，通过改变气体化学特征、压力和功率设置点实现控制

3. 热管理改进有助于确保真空腔体实现更长寿命

4. 利用低动态压力超调，Rapid OE 可以快速点火并达到稳态运行