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RIE刻蚀机:独立式RIE系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子以及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2“的视窗,...
NRE-3000 反应离子刻蚀机:PC控制的RIE反应离子刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔...
NRE-3500(A)全自动反应离子刻蚀机:自动上下栽片,PC控制的RIE反应离子刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜,13“顶盖式圆柱形铝腔...
NRE-3500(M)反应离子刻蚀机:PC控制的反应离子刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体...
NRE-4000(M)反应离子刻蚀:独立式RIE系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子以及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口...
NRE-4000(A)全自动反应离子刻蚀:独立式RIE反应离子刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子以及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装...
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