SEC-Z524MGX HORIBA高性能数字式质量流量控制器

SEC-Z524MGX HORIBA高性能数字式质量流量控制器

产品概述

SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能数字式质量流量控制器（MFC），隶属于 SEC-Z500X 系列，专为半导体制造、精密化工和高纯气体工艺控制而设计。其具备多气体、多量程配置功能，支持 DeviceNet 通信协议，适配各种工业自动化控制系统。

主要特点

• 多气体/多量程配置：支持通过软件快速切换气体类型与流量范围，简化库存管理，降低成本。

• 高精度控制：在全量程范围内提供 ±1% 设定值 或 ±0.25% 满量程的控制精度。

• 快速响应：<1 秒的响应时间，有效提高工艺控制效率。

• 金属密封结构：全不锈钢气体接触部分，确保气体纯度，满足高洁净度应用的要求。

• 灵活通信接口：内建 DeviceNet 通讯，部分版本支持模拟信号与 EtherCAT®，便于集成至不同的控制系统中。

• 结构紧凑，安装灵活：C-Seal 安装接口，适配各类设备集成。

技术参数

• 型号：SEC-Z524MGX

• 流量范围：支持多种满量程设置，常见如 10 SLM、30 SLM、50 SLM 等，可通过专用软件进行现场更改。

• 适用气体：支持多气体配置，常见如氮气（N₂）、氧气（O₂）、氩气（Ar）、硅烷（SiH₄）等，用户可根据需求更改气体类型。

• 控制精度：±1.0% 设定点（S.P.）或 ±0.25% 满量程（F.S.），两者取其较大值。

• 响应时间：≤1 秒（全量程范围内）。

• 阀类型：压电陶瓷阀，常闭型（Normally Closed）。

• 密封材料：金属密封（如 C-Seal）。

• 通信接口：支持 DeviceNet™，部分型号还支持模拟信号和 EtherCAT® 通信。

• 电源要求：DC 24V，功耗约 4.0 VA。

• 气体接触部件材料：SUS 316L 不锈钢，适用于高纯度气体控制。

• 工作环境：建议温度范围为 5～50℃，推荐 15～45℃，环境应洁净干燥以确保控制精度和寿命。

应用领域

• 半导体光刻/刻蚀/沉积气体控制

• 精细化工过程流量管理

• 光电器件生产

• 实验室高纯气体流量监测与控制