SEC-N112MGM 热式质量流量控制器

HORIBA SEC-N112MGM 热式质量流量控制器（MFC）

产品简介

HORIBA SEC-N112MGM 是 HORIBA STEC 公司推出的 SEC-N100 系列中的高性能模拟型热式质量流量控制器，广泛应用于半导体制造、光伏产业、LED 制造及液晶面板生产等高精度气体控制领域。该设备采用热式质量流量计原理，结合先进的模拟控制技术，实现高精度、高响应速度的气体流量控制。

产品特点

• 高精度控制：设定值大于 30% F.S. 时，精度为 ±1.0% S.P.；设定值小于或等于 30% F.S. 时，精度为 ±0.3% F.S.

• 快速响应：采用可变 PID 控制算法，实现 1 秒内快速响应，适应不同设定点的变化。

• 多种通信接口：支持模拟信号（0–5V、0–10V、4–20mA），满足不同系统集成需求。

• 全金属结构：采用 316L 不锈钢材质，确保设备在高纯度和腐蚀性气体环境中的稳定性和耐用性。

• 安装灵活：支持任意角度安装，便于系统集成和维护。

技术参数

• 测量原理：热式质量流量计（Thermal Mass Flow Meter）

• 控制方式：可变 PID 控制算法，实现快速稳定的流量调节

• 适用气体：支持多种腐蚀性和非腐蚀性气体，如 N₂、O₂、Ar、H₂、SiH₄、PH₃、CF₄、NF₃、SF₆ 等（使用前需确认气体兼容性）

• 精度说明：

• 当设定值大于 30% F.S. 时，精度为 ±1.0% of Set Point

• 当设定值小于或等于 30% F.S. 时，精度为 ±0.3% of Full Scale

• 响应时间：小于 1 秒，适应工艺过程中的快速切换

• 流量范围：从 10 SCCM 到 50 SLM，根据具体型号而定，适配多种应用需求

• 通信接口：

• 模拟信号：0–5V、0–10V、4–20mA

• 电源要求：

• 模拟型产品需 ±15V DC 供电

• 工作温度范围：5°C 至 50°C，适用于洁净室及标准工业环境

• 设备尺寸：约 81.8 毫米（宽）× 30.5 毫米（厚）× 126 毫米（高）

• 产品重量：约 1.2 千克，结构紧凑、便于集成

• 安装方式：支持面板安装或机架安装，方便系统集成

• 产品认证：符合 CE、RoHS 等国际标准（依据型号）

应用领域

• 半导体工艺气体输送系统

• 真空设备中的气体注入控制

• 等离子体蚀刻与沉积设备

• 光伏太阳能电池制造

• OLED、LED、液晶显示面板生产线

型号说明

SEC-N112MGM 系列根据不同的通信方式和功能，分为多个子型号：

• SEC-N112MGM：支持模拟信号接口，适用于需要远程控制和监测的系统。

• SEC-N112MGR：支持 RS-485 数字通信接口，适用于数字化控制系统。

不同型号在通信接口、电源要求、功能特性等方面有所差异，用户应根据具体应用需求选择合适的型号。