SEC-Z512MGX 数字式质量流量控制器

HORIBA STEC SEC-Z512 高性能数字式质量流量控制器（MFC）

产品简介

HORIBA STEC SEC-Z512 是一款广泛应用于半导体、光伏、LED 和液晶面板制造行业的高精度数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）。它采用热式质量流量计原理，并结合 HORIBA 的多气体多量程（Multi-Gas / Multi-Range, MGMR）数字控制技术，满足多种气体类型与工艺需求，是现代洁净室工艺中精准气体输送的理想选择。

产品特点

• MGMR功能（多气体多量程）：用户可通过软件快速切换气体种类和量程，支持灵活多变的工艺组合，无需实体更换设备，节省时间与成本。

• 高精度流量控制：在不同设定范围内均可实现 ±1.0% of Set Point 或 ±0.25% of Full Scale 的精准控制，确保气体比例稳定。

• 超快响应速度：小于1秒的响应时间，适配快速变化的工艺需求，提高整体工艺效率。

• 多种通信方式兼容：支持模拟信号（0–5V、0–10V、4–20mA）与数字通信（RS-485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS 等），便于集成至多种控制系统。

• 全金属密封结构：主体采用高纯度 316L 不锈钢材料制造，适合高纯、高腐蚀性气体环境，具备气密性和耐用性。

• 结构紧凑，易于集成：紧凑型外形尺寸便于模块化装配，适配主流半导体设备架构。

技术参数

• 流量测量原理：热式质量流量传感（Thermal Mass Flow Sensing）

• 控制方式：可变 PID 控制算法

• 适用气体：支持 N₂、Ar、O₂、H₂、CF₄、NF₃、SF₆、SiH₄、PH₃ 等多种腐蚀性与非腐蚀性工艺气体

• 精度：

• 设定值大于 25% F.S. 时，精度为 ±1.0% of Set Point

• 设定值小于等于 25% F.S. 时，精度为 ±0.25% of Full Scale

• 响应时间：小于 1 秒

• 流量范围：10 SCCM 至 50 SLM（具体范围视型号配置）

• 通信接口：

• 模拟型支持：0–5V / 0–10V / 4–20mA

• 数字型支持：RS-485（F-NET）、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS

• 电源输入：

• 模拟型：±15V DC

• 数字型：24V DC

• 工作环境温度：5°C 至 50°C

• 尺寸：约 81.8 mm（宽） × 30.5 mm（厚） × 126 mm（高）

• 重量：约 1.2 千克

• 材质：316L 不锈钢 + 金属密封结构（适用于超高纯气体系统）

• 安装方式：标准面板式或机架式安装

• 认证：CE、RoHS（依据型号）

应用领域

HORIBA SEC-Z512MGX 广泛应用于以下领域：

• 半导体前道及后道制造（Etch、CVD、ALD、PVD）

• OLED / LCD 显示面板生产线

• 太阳能光伏组件气体注入系统

• 材料气氛控制实验平台

• 化学气相沉积和等离子蚀刻设备

型号说明

SEC-Z512 系列包含多个子型号，典型型号如：

• SEC-Z512MGX：通用版本，支持多种气体及流量切换

• SEC-Z512MGXC：定制版本，适用于特定工艺需求

具体型号的通信协议、电源类型、适用气体等参数略有差异，选型时建议结合工艺需求或咨询技术支持。