HORIBA 质量流量计：高精度气体流量控制器

在半导体、光伏、LED、化学气相沉积（CVD）、等离子蚀刻（Etching）等制造行业中，对气体流量控制精度的要求极为严苛。作为优秀的分析仪器与工艺控制解决方案提供商，日本 HORIBA 凭借其在质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）领域的深厚技术积累，推出了包括 SEC、S、Z 等多个系列的热式质量流量计产品，广泛应用于前沿制造工艺与实验室环境。

什么是质量流量计（MFC）？

质量流量计是一种用于精确测量并控制气体流量的仪器，单位通常为 SCCM（标准立方厘米每分钟）或 SLM（标准升每分钟）。与体积流量计不同，MFC 能直接测量气体的质量流量，受温度与压力变化的影响较小。

HORIBA 的质量流量计采用 热式质量流量测量原理，通过内部热传感器检测气体通过流量通道时的热量变化，从而实现高精度流量计算与闭环控制。

HORIBA MFC 系列产品概览

SEC-N 系列

• 代表型号：SEC-N112MGM, SEC-N112MGR

• 特点：多气体/多量程（MGMR），可快速切换气体种类和满量程，无需拆装。

• 接口类型：模拟（MGM）或 RS485 数字（MGR）

• 应用：主流半导体设备厂商广泛采用

SEC-Z 系列

• 代表型号：SEC-Z512MGX

• 特点：支持 EtherCAT / DeviceNet 等高级总线协议，全金属密封设计，适用于腐蚀性气体

• 精度更高，温漂更低

• 适用于先进制程（EUV 光刻、三维存储器制造）

S48 系列

• 代表型号：S48-32/HMT

• 特点：经典款热式 MFC，模拟通信为主，性价比高，适合标准洁净室工艺

• 支持多种气体，量程选择灵活

应用领域

• 半导体制造：Etching、CVD、ALD、PVD 等腔体气体控制

• 显示面板：OLED/LCD 制造的惰性气体及反应气体输送

• 光伏行业：薄膜沉积过程中的气体流量管理

• 医疗/实验室：高精度混合气体控制系统

• 化工与环保监测：用于过程控制、污染气体排放测试系统

为什么选择 HORIBA MFC？

• 日本制造，品质保障

• 全球半导体厂商广泛验证与使用

• 拥有完善的售后服务与技术支持体系

• 持续升级：从模拟到全数字通信，支持 MGMR 快速配置

• 可定制解决方案，适配各类 OEM 设备与新兴工艺需求