HORIBA SEC-Z514MGX 气体质量流量控制器

HORIBA SEC-Z514MGX 气体质量流量控制器

产品概述

HORIBA SEC-Z514MGX 气体质量流量控制器 隶属于 SEC-Z500X 系列，专为半导体制造、精密化工和高纯气体工艺控制而设计。其具备多气体、多量程配置功能，支持 DeviceNet 通信协议，适配各种工业自动化控制系统。

主要特点

• 多气体/多量程配置：支持通过软件快速切换气体类型与流量范围（例如3 SLM、5 SLM、10 SLM）。

• 高精度控制：在全量程范围内提供 ±1% 设定值 或 ±0.25% 满量程的控制精度。

• 快速响应：<1 秒的响应时间，有效提高工艺控制效率。

• 金属密封结构：全不锈钢气体接触部分，适用于超高纯应用。

• 灵活通信接口：内建 DeviceNet 通讯，部分版本支持模拟信号与 EtherCAT®。

• 结构紧凑，安装灵活：C-Seal 安装接口，适配各类设备集成。

技术参数

• 支持的流量范围为多种满量程配置，常见有 3 SLM、5 SLM、10 SLM，可根据客户需求定制。

• 支持的气体类型包括氮气（N₂）、氧气（O₂）、氩气（Ar）、硅烷（SiH₄）等，具备多气体切换功能。

• 控制精度为 ±1.0% 设定值（S.P.）或 ±0.25% 满量程（F.S.），两者取其较大值。

• 响应时间小于等于 1 秒，可满足高动态响应需求。

• 采用压电陶瓷控制阀，常闭型（Normally Closed），具备较高的稳定性和安全性。

• 气体接触材质为 SUS316L 不锈钢，接口为 C-Seal 全金属密封，适用于高纯气体控制。

• 内置DeviceNet™ 通信接口，符合 ODVA 标准，部分型号支持模拟信号或 EtherCAT® 接口，便于集成。

• 电源要求为 DC 24V，最大功耗为约 4 VA。

• 推荐的工作环境为温度 5～40℃，环境应洁净干燥以确保控制精度和寿命。

应用领域

• 半导体光刻/刻蚀/沉积气体控制

• 精细化工过程流量管理

• 光电器件生产

• 实验室高纯气体流量监测与控制