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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>光刻及涂胶显影设备>匀胶机>L2001 Ossila匀胶机旋涂仪

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L2001 Ossila匀胶机旋涂仪

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 迈可诺技术有限公司
  • 品牌 Ossila/欧西拉
  • 型号 L2001
  • 产地 英国
  • 厂商性质 代理商
  • 更新时间 2025/5/15 10:07:10
  • 访问次数 47

联系方式:邓经理查看联系方式

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


半导体化工领域专业实验设备供应商:迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司,专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商,迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务,帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定,尊重他们的决定,并协助他们实现高效率的科研成果,追求丰富有意义的生活。




匀胶机,光刻机,显影机,等离子清洗机,紫外臭氧清洗机,紫外固化箱,压片机,等离子去胶机,刻蚀机,加热板

Ossila匀胶机旋涂仪以经济型设计融合实验室操作需求,采用免真空技术替代传统真空泵/氮气依赖,通过特制凹槽托盘实现基片稳定固定。设备集成10组可编程参数模块,支持120-6000 RPM宽域调速及多工序流程设定,配备不锈钢防腐蚀外壳与24V直流安全供电系统,适配多种规格基片处理,在简化操作流程的同时降低维护成本,满足实验室精准涂覆与耐用性需求。

Ossila匀胶机旋涂仪采用经济型定价策略与紧凑型结构设计,集成以下核心功能:

  1. 非真空工艺创新
    通过内嵌式托盘机构实现气源依赖消除(无需真空泵/氮气辅助),有效规避基板形变风险,确保薄膜沉积均匀性(厚度偏差≤2%)

  2. 多程序管理系统

    • 10组独立工艺参数存储单元

    • 宽域转速调节(120-6000 RPM)

    • 多段程序控制(单程序50工序步长)

  3. 耐腐蚀构造设计
    采用不锈钢-钢化玻璃复合防护体系,搭配PP抗化学腐蚀托盘,适配强酸/强碱实验环境

  4. 低压安全供电系统
    24V直流电源集成过载保护模块,符合IEC 61010-1电气安全标准

  5. 多规格基板适配性
    标配非接触式基板固定方案,兼容5-200mm直径样品处理(特殊尺寸支持定制化改造)


 

为什么要无真空?

市场上的大多数使用真空泵在旋转时保持基材。 与其他产品不同的是,该款采用创新设计的托盘,衬底通过切入聚丙烯托盘的凹槽保持在适当的位置,使多余的涂层材料被排出。

 

Ossila匀胶机旋涂仪

该款托盘将基材固定在适当位置,无需真空,确保其稳定性。

 

真空吸盘很可能会造成较薄的基材向内翘曲,影响涂层的均匀性,降低设备的质量和性能。 而这款无真空吸盘可确保您的基材平整无损,即使它们是柔性基材,也能保持均匀的薄膜分布。

 

Ossila匀胶机旋涂仪

与常规旋涂仪相比,该款无真空旋涂仪能够实现均匀的薄膜分布。

 

真空旋涂仪只能安装在有真空管路的地方,固定在保留设置的位置上,不用时会占用空间。 由于不需要真空管线,该款旋涂仪可以安装在任何位置,可以在台面上,通风橱和手套箱中使用,只需一个电源插座。

 

大多数旋涂仪都被真空泵的隐藏成本所困扰,这些真空泵通常需单独报价。 真空泵容易断裂,造成昂贵的维修费用,延误实验进程。 这主要是由于过量的溶剂被吸入真空管路中,损坏了内部元件。使用该款无真空旋涂仪可以减少短期和长期成本,为您提供启动旋涂所需的一切 - 1950英镑的全包价格。 我们还提供免费的1年保修服务,以便在需要维修的情况下尽快恢复设备正常工作。

 

 

 

 

 



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