旋涂腐蚀性试剂会腐蚀旋涂仪的卡盘吗？

来源：迈可诺技术有限公司 2025年07月17日 11:16

旋涂仪卡盘选择：PP还是PTFE？

卡盘材质的选择取决于具体应用场景和所接触的化学试剂。

聚丙烯（PP）卡盘特性

材料特性：热塑性聚合物，具有优良的耐化学性和机械耐久性

应用场景：常用于实验室玻璃器皿和化学处理容器

优势：抗物理冲击和反复使用，对多数化学试剂呈惰性，适合常规化学工艺需求

聚四氟乙烯（PTFE）卡盘特性

材料特性：合成氟聚合物，具有：较强的化学耐受性、不粘特性、高温稳定性（-200°C至260°C）

应用场景：高温/低温环境（如烘箱或低温实验），半导体制造、医疗器械（导管、牙科器械等）

化学耐受性对比

选型建议

常规应用：标准PP卡盘性价比更高

特殊需求：当涉及以下情况时选择PTFE：

强腐蚀性试剂（如浓酸/碱）

高温工艺环境

需要避免材料粘附的场景

不确定时：建议查阅化学兼容性图表或咨询Mycro Technologies

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