白光干涉仪

Profilm 3D

支持垂直扫描和移相干涉测量法，高分辨率地测量亚纳米级的表面形貌。采用TotalFocus 技术，可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。

在 Profilm3D 测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。

应用范围

ª 从纳米级到毫米级的3D台阶高度

ª 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状，纹理表征

ª 3D缺陷表面形貌、缺陷表征

ª 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描

ª 高粗糙度，低反射率，划痕表征

ª 3D边缘轮廓测量

2mm宽视野

Profilm3D以10倍物镜提供2毫米视野,提供手动或自动物镜切换炮塔等配置，适用于多物镜使用场合

自动样品台

100 /200mm自动XY样品平台，自动对焦，Tip-Tilt功能

长程扫描

500μm长压电行程范围内自动对焦，可扫描高度相隔甚远的多个表面

粗糙度成像增强

粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比

移相干涉成像（PSI）

移相干涉技术可精确测量亚纳米级的表面特征                    

TotalFocus 无限景深成像

由于高倍物镜景深较小，传统显微技术无法观察整个视野，TotalFocus可提供全视野像素级聚焦，可在对焦每个像素时捕捉到真彩色3D图像。此功能可用于分辨具有不同光学特性的材料之间的边界。

光学性能                                                                   机械规格