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白光干涉仪 参考价：面议
白光干涉垂直扫描和移相干涉测量法，0.1nm台阶，采用TotalFocus 技术，全视场真彩色图像。
三维光学轮廓仪 参考价：面议
多模组三维光学轮廓仪标配ZDot白光共聚焦逐层成像，可选装多模式光学系统。
探针式轮廓仪（台阶仪） 参考价：面议
探针式轮廓仪（台阶仪）源自AFM的光学杠杆技术，精确测量台阶高度及表面轮廓。
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