您好, 欢迎来到化工仪器网
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,航空航天,汽车及零部件 | 激光类型 | HeNe正交线偏振双频激光 |
| 真空波长 | 632.9905nm | 出光功率 | 0.5-1.0mW |
| 双频频差? | 1.0-20.0MHz(可定制更高频差） | 稳频精度 | ±0.02ppm(life?time) |
通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺"项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器；
非线性高精密测量系统，测量更精准；
可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。
产品简介
详细介绍
镭测科技双频激光干涉仪LH1000专为光刻机配套开发的高精度测量系统；
通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺"项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器；
非线性高精密测量系统，测量更精准；
可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；
精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。
型号 | 频差(MHz) | 最小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 稳频精度(ppm) |
LH1000A | 1.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000B | 2.5±0.5 | > 500 | 6 | ±0.02 |
LH1000C | 3.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000D | 4.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000DL | 5.5±0.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000EL | 6.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000FL | 7.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000GL | 8.5±0.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
LH1000H | 9.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000I | 10.0-20.0(按需定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技双频激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息
更多相关信息可联系公司客服电话7*24小时为您服务
其他推荐产品
更多产品-
面议
-
面议
-
面议