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镭测科技双频激光干涉仪LH2000满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;以光刻机用激光干涉测量系统为基础,在保留高稳定性、高精度、高采样速率性能的...
镭测科技双频激光干涉仪LH1000专为光刻机配套开发的高精度测量系统;通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺"项目验收。采用直接输出线偏振光的双频...
镭测科技双频激光干涉仪LH3000,基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术,拥有自主知识产权,技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3...
镭测科技双轴测量激光干涉仪LH3000-2专为双轴双驱机床测校开发2双轴测量激光干涉仪;一机两用,既可检测单轴形位精度,又可同步检测双轴线性位移;一台干涉仪测量...
镭测科技激光干涉仪双频激光器 LG1000系列双频激光器采用自主知识产权的Zeeman-双折射双频激光器,可定制1~20MHz的频差,出光功率不受频差的限制。无...
镭测科技推出的镭测科技激光干涉仪LS600单频激光干涉仪采用单频测量技术,拥有自主知识产权,技术指标达到或优于国外产品同等水平。通过与不同的光学组件结合,可实现...
传统的激光干涉仪通常需要在被测目标上设置靶镜,以反射测量光线获得高精度的测量结果。镭测科技推出的镭测科技非接触式激光干涉仪LY1000,无需靶镜,仅利用待测工件...
氦氖(HeNe)激光器是首先实现激光振荡输出的气体激光器。HeNe激光器输出的是Ne的光谱线,在可见和红外波段有多条,其中较强的是0.6328μm、1.15μm...
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