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激光干涉仪用于重复定位精度测量2023/3/29
1、重复定位精度测量原理重复定位精度测量主要用到干涉仪的线性测量，即对待测平移装置的定位进行多次测量，比较得到同一位移指令下的定位精度。线性度测量是激光干涉仪的基本测量，原理如图所示。将一个角锥反射镜...
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