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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>KYOSAN RFK Series>> KYOSAN RFK30ZCPS1KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW
| 供货周期 | 现货 | 货号 | WB1024 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型号 | RFK30ZCPS1 |
| L/N | WB1024 | 频率 | 13.56MHz |
| 输出功率 | 3KW | 设备状态 | Refurblished |
KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK 系列射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。RFK系列射频电源广泛应用在半导体薄膜工艺中，具有优良可靠的成膜能力，可在一定程度上提升产线效率。
KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 规格参数
设备型号：RFK30ZCPS1
AC 电源输入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，19A
RF 射频输出：13.56MHz，3KW
谐波失真：≤ -45dB
输出：MOS-FET
输出接口：HN type
散热方式：水冷散热
水冷进水流速：6L/min
设备重量：41kg
通信接口：RS-232C、INTERFACE
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