19975057911
当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>KYOSAN RFK Series>> RFK50Z-TE8-RFKYOSAN 射频电源 RFK50Z 13.56MHz 5KW
| 供货周期 | 现货 | 货号 | WH7263 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型号 | RFK50Z-TE8-RF |
| L/N | WH7263 | 频率 | 13.56MHz |
| 输出功率 | 5KW | 设备状态 | Refurblished |
KYOSAN 射频电源 RFK50Z 13.56MHz 5KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK Series 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射频电源广泛应用在半导体制程的薄膜工艺中，具有优良可靠的成膜能力，快速成膜。
KYOSAN 射频电源 RFK50Z 13.56MHz 5KW RF Generator 参数规格
设备匹配：KYOSAN
设备型号：RFK50Z-TE8-RF
AC 电源输入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz
RF 射频输出：13.56MHz，5KW
谐波失真：≤ -45dB
输出：MOS-FET
输出接口：HN type
散热方式：水冷散热
水冷进水流速：6L/min
设备重量：32kg
请输入账号
请输入密码
请输验证码
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，化工仪器网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
化工仪器网