供货周期 |
现货 |
货号 |
64000037 |
应用领域 |
化工,电子,电气,综合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
型号 |
cito?1370-WC7B-P37A-FF |
P/N |
64000037 |
频率 |
13.56MHz |
输出功率 |
7000W |
设备状态 |
Refurblished |
COMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW 提供优秀的脉冲质量,稳定性和功率测量精度,使其成为等离子沉积和蚀刻应用的可靠选择。
COMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW RF Generator 可提供优秀的脉冲品质,稳定性及功率投射准确性,使其不仅对于非半导体的应用,同时对于如等离子沉积及蚀刻等的半导体类应用来说也是可靠的选择。COMET cito Series 可以长时间稳定运行,故障率低,能够在提高产能的同时降低运行成本。
COMET cito Series 高频射频电源 优点
1.具有更好的等离子稳定性,可确保工艺的重复性
2.具有高筑波比的理想脉冲波形
3.具有更精确的功率输出,可对等离子工艺进行更精确的控制
4.对于电缆长度的低敏感性可使其更易于与设备整合
5.具有更高的工作效率及更低的使用成本
COMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW 射频发生器 规格
型号:cito-1370-WC7B-P37A-FF
AC输入:400~480V,3phase,50/60Hz,3x22A @400V
RF输出:7000W,13.56MHz,837V,50 Ohm
通信接口:RS232,Ethernet,DB25 Analog/Digital,9-pin matching bus
安装机架:标准19英寸机架装配