供货周期 |
现货 |
货号 |
64000028 |
应用领域 |
化工,电子,电气,综合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
型号 |
cito?1310-ACNA-N25C-FF |
P/N |
64000028 |
频率 |
13.56MHz |
输出功率 |
1000W |
设备状态 |
Refurblished |
COMET 高频射频电源 cito1310 13.56MHz 1KW 射频发生器性能稳定、可靠性高,是经过长期机台测试验证过的高频射频电源。
COMET 高频射频电源 cito1310 13.56MHz 1KW RF Generator 是一款具有优良性能的高频射频电源,该设备适用于RF溅射、蚀刻、CVD和PVD等。COMET cito Series 电源设备采用的固态设计可靠性高,拥有成本低,该系列设备可提供优秀的脉冲品质,稳定性及功率投射准确性,使其不仅对于非半导体的应用,同时对于如等离子沉积及蚀刻等的半导体类应用来说也是可靠的选择。
COMET cito Series 高频射频电源 特点
1.长时稳定运行/低故障率 — 可提高产能,同时降低运行成本
2.具有高准确性,可重复性及稳定性 — 满足您的工艺要求
3.具有更高的功率输出效率 — 能够产生更高的经济及环保效益
COMET 高频射频电源 cito1310 13.56MHz 1KW RF Generator 规格
型号:COMET cito-1310-ACNA-N25C-FF
AC输入:187~265V,50/60Hz,6.0A
RF输出:1000W,13.56MHz,316V,50 Ohm
通信接口:RS232, Ethernet, DB25 Analog/Digital, 9-pin matching bus
安装机架:标准19英寸机架装配
散热:风冷